本发明提供一种尾气洗涤塔及洗涤方法、半导体刻蚀设备。洗涤塔包括塔体、进气管路、离心泵及补水管路；塔体的底部设置有反应槽；进气管路包括进气端及出气端,进气端与设备的尾气排放管路相连接,出气端与反应槽相连接；离心泵与反应槽及进气管路相连通；补水管路一端与供水源相连接,另一端与进气管路的进气端相连接,用于向进气管路内补水,以使尾气和水混合。本发明的尾气洗涤塔通过优化的结构设计,可以提高特定制程时洗涤塔的处理效率,有助于保护环境、避免真空回灌风险、延长排放管路和洗涤塔的使用寿命。采用本发明的尾气洗涤塔、洗涤方法,以及半导体刻蚀设备,有助于降低生产成本和提高设备产出率。

本申请公开了一种液封吸附除尘装置及其使用方法,包括吸附塔,吸附塔从上至下设置有清气出口、喷淋层、填料层、液封吸附层和污液出口；液封吸附层包括浊气输送管、吸附交换箱和液封上帽；吸附交换箱安装于吸附塔内,吸附交换箱的侧壁和吸附塔的内壁间隔设置；吸附交换箱的上表面设置有过滤气出口；浊气输送管的进气口设置于吸附塔的外部,浊气输送管的出气口穿过吸附塔的侧壁和吸附交换箱的壁板后伸入吸附交换箱的内部；液封上帽安装于浊气输送管的出气口上；吸附交换箱内设置有用于吸收浊气中粉尘的吸附液,吸附液的液面位于液封上帽的出气口的上方。本申请解决了现有技术中气体除尘采用喷淋吸附的方式,存在净化后的气体纯度较低的问题。

本发明提供一种烟气中的细颗粒物高效分离方法,所述烟气中的细颗粒物高效分离方法通过使用细颗粒物高效分离设备来实现烟气中的细颗粒物高效分离；所述细颗粒物高效分离设备包括：箱体；所述箱体为矩形箱状结构。通过进气管与叶轮B的配合,因叶轮B安装在连接管A上,且叶轮B与进气管的头端对正,从而当进气管处进气时通过风力吹动可实现叶轮B的转动,进而实现了连接管A自然转动；通过净化结构的设置,第一,因叶轮A安装在连接管A上,且叶轮A位于箱体的外侧,并且叶轮A组成了连接管A的风力驱动结构,从而在自然风力的吹动下可实现连接管A的转动。