本发明提供了一种用于制备多晶硅的方法,包括将含有硅烷和/或至少一种卤代硅烷以及氢气的反应气体通入气相沉积反应器的反应空间中,其中该反应空间包括至少一个加热的支撑体,通过沉积将硅沉积在该加热的支撑体上以形成多晶硅。为了检测灰尘沉积,至少一个测量装置用于在沉积期间确定反应空间内部的浊度。