本发明的激光修复方法能够不受基底层的材质或层的膜厚的偏差的影响而对加工对象的层适当地进行修正加工。所述激光修复方法,对形成于基板上的多层膜结构的缺陷部照射激光束来进行修正加工,在所述激光修复方法中,获取包括缺陷部的区域的图像,以包括缺陷部的方式在图像上设定激光束的扫描范围,在进行扫描范围内的激光束的扫描时,在图像的颜色信息被识别为缺陷部的扫描位置,将激光束的输出控制为开启或较高。