本发明提供激光加工装置,该激光加工装置不会增大激光光线的光斑直径而生产能力优良。激光加工装置的激光光线照射单元包含：激光振荡器,其振荡出激光；Y轴扫描器,其将从激光振荡器射出的激光光线沿Y轴方向进行高速扫描；X轴扫描器,其将从激光振荡器射出的激光光线沿X轴方向进行加工进给；以及聚光器。Y轴扫描器是从声光偏转器、共振扫描器以及多面扫描器中的任意一个中选择的,X轴扫描器是从电流扫描器或共振扫描器中选择的。