本发明提供一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法,包括以下步骤,步骤1,使用真空吸盘吸附靶材并放置到气浮台上；步骤2,开启气浮台,使靶材保持上浮状态；步骤3,将靶材依次套入到两个PE袋中并抽真空,进行双重真空包装；步骤4,使用真空吸盘将包装后的靶材吸附转运放置到铝板上,在靶材上侧再覆盖铝板,使用胶带进行捆绑固定；步骤5,将固定好的靶材放置到吊篮中,进行冷等静压制备。通过采用真空吸盘对靶材进行吸附转运,通过气浮台将靶材悬空放置,便于后续对靶材的真空包装,减少了人工搬运靶材,减少了靶材破裂的产生,从而提高了靶材产品质量。