本发明公开了一种低能耗制备氩、氮气体的制备方法,包括以下步骤:1)将低温液体储槽内纯度为99.99%液态物送入汽化器气化,气化后的气体到净化器内进行提纯;所述液态物为液态氩或液态氮其中之一;2)所述净化器处理的气体通过除杂器后进行纯度检测,纯度检测合格后将气体送入隔膜压缩机,进行0mpa-15mpa加压,装入真空气瓶,所述除杂器的壳体内设有复合膜;3)对装入真空气瓶内的气体进行合格化验,合格,送库保存;采用本发明公开的生产氩、氮气体方法,可以满足市场对氩、氮气体需求,在保证产量的同时,又能实现对氩、氮气体纯度的要求,使氩、氮气体的纯度到达了99.9996%以上。