本发明的六氟化钨的制造方法包括如下工序：反应工序,使钨与含氟元素的化合物气体反应,得到含有六氟化钨和包含氟化氢的杂质的混合物；和,排出工序,将混合物蒸馏,在该蒸馏时,执行交替地进行积存操作和吹扫操作的排出操作至少2次以上,从而得到六氟化钨。

本发明的六氟化钨的制造方法包括如下工序：反应工序,使包含砷或砷化合物的钨与含氟元素的化合物气体反应,得到包含六氟化钨和三价砷化合物的混合物；和,蒸馏工序,将该混合物蒸馏纯化,将包含三价砷化合物的馏分分离去除,得到六氟化钨。