本发明提供一种能够形成桥接缺陷抑制性及残膜区域中的膜减少抑制性优异的图案的EUV光用感光性组合物。并且,提供一种图案形成方法及电子器件的制造方法。EUV光用感光性组合物包含树脂X及光产酸剂,所述树脂X由于酸的作用而极性增加,在碱显影液中的溶解度增加,在有机溶剂中的溶解度减少,或者包含树脂Y,所述树脂Y包含具有光酸产生基团的重复单元,且由于酸的作用而极性增加,在碱显影液中的溶解度增加,在有机溶剂中的溶解度减少,并且均满足必要条件1及必要条件2。

本发明提供了一种新的适用于拉挤成型工艺的不饱和聚酯树脂组合物,包括以下组分：不饱和聚酯树脂低聚物A、不饱和聚酯树脂低聚物B、不饱和酯单体、引发剂；其中,不饱和聚酯树脂低聚物A的结构为：不饱和聚酯树脂低聚物B的结构为：R1、R2为具有脂环结构的二价饱和烃基,R3为具有脂环结构的二价不饱和烃基,R4为不具有脂环结构的二价饱和烃基,R5为不具有脂环结构的二价不饱和烃基；n/m＝1～5；p/q＝1～5；s≥1,t≥1。该组合物制备的复合材料力学性能良好,且在高温下具有良好的抗老化性能,长时间高温后复合材料力学性能变化不明显、颜色变化也不明显。本发明还提供该不饱和聚酯树脂组合物制备的复合材料。