本发明公开了一种环保型隧道排水管结晶处理物制备方法,包括以下原料及其重量分数：烧碱为30-50％质量份；生石灰为20—30％质量份；碳酸钠为10—15％质量份；焙烧硅藻土为10—15％质量份；铁粉为5—10％质量份；铝粉为5—10％质量份；焦炭粉为4—8％质量份；活性炭为3—6％质量份。本发明制备的结晶处理物对管道内部结晶清除时的速度比较快,降低了管道内部结晶清除时的难度,还能避免结晶处理物在反应过程中产生的异味直接扩散到空气中,提高了结晶处理物使用过程中对环境的保护效果。

本发明公开了一种半导体环保清洗剂的制备方法,半导体环保清洗剂包括络合剂、酸度调节剂、软化剂、有机碱、无机碱和纯水,其具体制备方法包括备料预处理、初步混合、进一步混料、最终混合配料、成品预处理和分装以上的步骤,本发明改善了传统半导体材料清洗的问题,降低了CMP后衬底晶片的表面Particle数量；对终检的无尘室晶片最终清洗影响显著,提高了晶片的通过率；本发明整道清洗制程后,对比现行的清洗效果有显著的提升,送入无尘室进行最终清洗,晶片的通过率相对原工艺提升10％～15％；整体性能良好、使用环保安全,并能降低SIC衬底晶片的颗粒污染,清洗效率高,提高了SIC衬底晶片的加工效率。