本发明是一种钕铁硼磁体超声辅助的晶界扩散方法,包括:步骤1:将钕铁硼磁体打磨干净,并在其表面涂敷或溅射沉积一层富含重稀土元素的扩散源;步骤2:将步骤1处理后的磁体放入扩散装置的炉体中,抽真空,然后升温;步骤:3:待温度升高到目标温度后保温并开启扩散装置的超声装置,在超声辅助下进行晶界扩散,等待扩散结束,关闭超声装置,冷却到室温;步骤4:将步骤3扩散处理后的磁体进一步加热到回火温度,进行回火处理,扩散装置包括炉体、超声发生装置和真空系统。本发明可以有效克服烧结钕铁硼磁体晶界扩散深度浅和矫顽力分布均匀性差的技术难题,促进烧结钕铁硼磁体晶界扩散技术的推广应用。