一种等离子体磁过滤技术制备LAGP基固体电解质的方法

本发明揭示了一种等离子体磁过滤技术制备LAGP基固体电解质的方法,该方法包括以下步骤：S1：将沉积基底固定在化学气相反应室中的可旋转基座上；S2：将弧光放电源、磁过滤管、化学气相反应室进行抽取真空；S3：采用等离子对沉积基底的镀膜表面进行清洗,去除沉积基底镀膜表面的油污及杂质；S4：将弧光放电固体源引入磁过滤管中进行筛选；S5：关闭弧光放电、磁过滤电源,释放真空度,待恢复至常压状态后打开化学气相反应室取出样品,将所得样品翻转180°,重复如上步骤进行再次沉积,最终得到LAGP基固体电解质。该方法可以有效地降低LAGP与正极材料直接的界面电阻从而使其易于形成稳定的SEI膜。

2021-11-02

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一种二氧化碳激光超硬膜及其制备方法

本发明公开了一种二氧化碳激光超硬膜及其制备方法,二氧化碳激光超硬膜的膜层结构为：SUB/aHbLcHdM/A,其中,SUB代表ZnSe基底、A代表空气、H代表Ge、L代表ZnS、M代表DLC；a、b、c和d代表每层的四分之一参考波长光学厚度的系数。本发明二氧化碳激光超硬膜,用极少的间隔膜层,得到了光学性能优良、制备重复性好、膜层附着力强、耐摩擦的激光超硬增透膜,该增透膜在10.6μm和9.4μm波段的透过率均>99.5％,满足了激光的保护窗的使用要求。

2021-11-02

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一种耐高温富Y离子非晶薄膜

本发明提供一种耐高温富Y离子非晶薄膜,涉及合金材料技术领域,所述耐高温富Y离子非晶薄膜包括如下步骤：S1,打磨,首先将高温合金样品打磨至1200目,并进行机械抛光,直至抛光到光滑状态；S2,浸泡,将上述中的样品放到丙酮中浸泡,浸泡完成后再用超声波清洗机进行清洗；S3,水洗,随后再将所述样品置于酒精中用超声波清洗,随后再用去离子水清洗,并用烘干机烘干。本发明改善了界面微观结构和组织成分,形成以阴离子扩散为主导的氧化传质机制,从而抑制氧化物的生长速率,解决了延缓高温合金氧化膜的热生长速率的问题,通过一层30-50nm厚的富Y非晶薄膜使高温合金在1100℃下展现出了优异的抗高温氧化性能。

2021-11-02

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一种经氧等离子刻蚀的二氧化锆薄膜及其制备方法

本发明涉及薄膜制备技术领域,尤其是一种经氧等离子刻蚀的二氧化锆薄膜及其制备方法,现提出如下方案,其包括在基体上经过氧等离子刻蚀过的表面侧制备覆盖在所述表面侧的二氧化锆薄膜。本发明提出一种将基体先经过氧等离子刻蚀,再用磁控溅射实现二氧化锆在经过刻蚀基体上的表面沉积的方法,这种方法制备得到的二氧化锆薄膜性能好,尤其是经过等离子刻蚀后力学性能等到提升,表面粗糙度降低,同时制备方法简单,可以实现大规模制备。

2021-11-02

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一种光学滤光片镀膜方法

本发明提供一种光学滤光片镀膜方法,采用双面磁控溅射镀膜设备,在镀膜支架上沿周向安装多个基片,在镀膜支架上方和下方分别设置上靶材和下靶材,在上靶材与镀膜支架之间和下靶材与镀膜支架之间均设置膜厚补偿结构以对上靶材和下靶材部分遮挡,旋转镀膜支架,利用上靶材和下靶材在基片两面同时进行镀膜,得到光学滤光片。本发明实现基片两面同时镀膜,同时,可满足批量加工,实现大口径基片整面分光的一致性。

2021-11-02

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利用磁控溅射在硅衬底上制备的金属铪薄膜、方法和应用

一种利用磁控溅射在硅衬底上制备的金属铪薄膜、方法和应用。利用磁控溅射在硅衬底上制备金属铪薄膜方法,包括：将硅衬底和金属铪靶材装入磁控溅射设备生长室,对硅衬底进行超高真空高温烘烤处理；利用磁控溅射反溅射干式清洗工艺对硅衬底进行表面溅射处理；利用磁控溅射沉积工艺在硅衬底上制备氮化铪阻挡层；利用磁控溅射溅射沉积工艺在氮化铪阻挡层上制备金属铪薄膜；对金属铪薄膜进行原位真空高温退火处理,降温至室温完成金属铪薄膜制备。本发明利用磁控溅射工艺在硅衬底上实现金属铪薄膜单一择优取向高结晶质量制备。所制备的金属铪薄膜可应用于欧姆接触金属电极材料或硅衬底氮化镓材料异质外延制备中的导电缓冲层材料。

2021-11-02

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一种铬减反射膜制备的方法和铬减反射膜

本发明提供了一种铬减反射膜制备的方法和铬减反射膜,该方法包括：将铬靶材安装到磁控溅射机中,并对衬底进行清洁和表面活化；将衬底固定在磁控溅射机中的转台上并对磁控溅射机的真空环境进行预处理；将衬底以预设温度进行预热后进行启辉；降低磁控溅射机中的气压到预设值并以预设功率对衬底进行溅射。通过使用本发明的方案,能够节约制备成本,更易实现大尺寸铬减反射膜的制备。

2021-11-02

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一种耐高温紧固件用AlN/AlScN纳米复合压电涂层及其制备方法

本发明涉及涂层材料的技术领域,具体涉及一种耐高温紧固件用AlN/AlScN纳米复合压电涂层及其制备方法,所述AlN/AlScN纳米复合压电涂层采用梯度层结构,由内到外依次包括结合层、支撑层、压电功能层和保护层,其中,结合层为纯金属AlSc层,支撑层为AlSc/AlScN纳米多层膜,压电功能层为AlN/AlScN纳米多层膜,保护层为AlON层。本发明的涂层具有比常规压电涂层更好的硬度、耐磨和韧性；充分利用梯度结构和纳米多层结构,形成结构和成分渐变,涂层和基体应力较低,具有好的附着力；提高了涂层的耐磨性能,同时耐腐蚀性能也大幅度提高；可以在高温时很好的保护压电复合涂层不被氧化,提高其高温稳定性。

2021-11-02

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耐高温抗结焦铬铝氮/二氧化钛复合镀层及其制备方法

本发明公开了一种耐高温抗结焦铬铝氮/二氧化钛复合镀层及其制备方法。以碳钢为基底,采用多弧离子镀在碳钢表面制备以Cr打底、CrN为过渡的CrAlN镀层作为中间层,然后采用原子层沉积在中间层表面制备TiO-(2)镀层。本发明采用多弧离子镀和原子层沉积相结合的方法,在基底与TiO-(2)镀层之间引入CrAlN镀层,提高了TiO-(2)镀层在高温、有氧条件下的抗剥落性能,从而使TiO-(2)镀层能更有效的发挥抗结焦功能。

2021-11-02

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一种双金属带锯条铣齿用涂层滚铣刀及其制备方法和应用

本发明涉及一种双金属带锯条铣齿用涂层滚铣刀及其制备方法,包括刀具基体,还包括依次设置在刀具基体外表面的AlTiN结合层、AlTiN/V-(2)O-(5)交替层与AlTiN顶层；所述AlTiN/V-(2)O-(5)交替层由AlTiN层与V-(2)O-(5)层交替沉积所得。其中AlTiN采用电弧离子镀技术制备,V-(2)O-(5)采用磁控溅射技术制备。本发明涉及了上述涂层滚铣刀的应用,所述涂层滚铣刀主要应用于双金属带锯条的铣齿加工。本发明通过多层结构设计克服了AlTiN摩擦系数高,V-(2)O-(5)硬度低的缺点,获得兼具优异力学性能、耐磨减摩以及长切削寿命的双金属带锯条铣齿用涂层滚铣刀。

2021-11-02

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