一种Janus微球及其制备方法和应用

本发明提供一种Janus微球及其制备方法和应用,所述制备方法包括：(1)采用滤膜过滤聚苯乙烯微球悬浊液,得到目标滤膜；(2)将金属沉积在目标滤膜的聚苯乙烯微球沉积层上,分离,得到所述Janus微球；所述制备方法通过过滤的方法将聚苯乙烯微球沉积在滤膜表面,得到具有聚苯乙烯沉积层的目标滤膜,可以精准控制聚苯乙烯微球沉积层的厚度,使得后续金属层沉积厚度更加精准,进而最终得到结构对称性优异的Janus微球,且所述制备方法全称没有有毒化学物质的使用,进而制备得到的Janus微球的安全性高,更加适合在医学材料和医疗器械中应用,具有重要的研究价值。

2021-10-29

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一种低温快速韧性渗氮后原位沉积PVD涂层的装置及沉积方法

一种低温快速韧性渗氮后原位沉积PVD涂层的装置及沉积方法,本发明涉及一种低温快速韧性渗氮后原位沉积PVD涂层的装置及沉积方法。本发明的目的是解决现有问题,首先利用电弧增强辉光放电技术对研磨抛光清洗后的高速钢基体表面进行Ar～(+)、H～(+)等离子体刻蚀清洗；然后往真空室内连续通入高纯氮气、高纯氢气或高纯氮气、高纯氢气和惰性气体氩气,进行等离子体渗氮处理；最后在相近温度下,利用电场增强阴极弧技术原位沉积PVD涂层。本发明在传统设备上增加了辅助阳极,以及在一侧阴极弧源前增加了L型挡板,实现了低温快速韧性渗氮后原位沉积PVD涂层。本发明应用于原位沉积PVD涂层领域。

2021-10-29

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半导体器件及其铝膜的制备方法

本发明公开了半导体器件及其铝膜的制备方法,制备方法包括：提供一晶圆；对所述晶圆进行预设时间段的预加热,以将所述晶圆的工艺温度达到预设温度；对预加热后的所述晶圆进行溅射工艺；以及,在所述晶圆上进行淀积,以形成所述铝膜。本发明有效地提升了厚铝工艺中控制工艺温度的稳定性,极大地减少了雾面残渣等缺陷,从而极大地提升了半导体器件产品的良率。

2021-10-26

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一种柔性聚合物扫描装置

本发明公开一种柔性聚合物扫描装置,涉及电子材料技术领域,包括阳极筒、磁过滤弯管、连接管、真空腔室、磁环线包、脉冲负偏压电网和绝缘支架,阳极筒、磁过滤弯管、连接管和真空腔室依次连接,磁环线包设置于磁过滤弯管和连接管之间,磁环线包中通入交流电,脉冲负偏压电网通过绝缘支架安装于真空腔室中,脉冲负偏压电网与连接管的出口位置相对应,脉冲负偏压电网远离连接管的一侧用于设置聚合物基体。本发明提供的柔性聚合物扫描装置,能够实现聚合物基体表面金属或非金属膜层的均匀沉积,提升了膜层致密性,提高了离子能量。

2021-10-22

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一种适用于不同厚度PVD涂层的活塞环PVD处理工艺及其设备

本发明公开了一种适用于不同厚度PVD涂层的活塞环PVD处理工艺及其设备,其步骤具体如下：(1)、对活塞环的表面进行预处理；(2)、对活塞环进行预加热；(3)、对活塞环进行清洗刻蚀；(4)、对活塞环进行相应厚度的PVD处理：(5)、完成活塞环的PVD处理工艺；(6)、对活塞环进行涂层质量检查；该装置包含有密闭工作空间、设置在所述密闭工作空间内的抽真空组件、设置在所述密闭工作空间内的放置组件、设置在所述密闭工作空间内的PVD处理组件和实现组件上下移动的升降组件；实现对活塞环的智能化PVD处理,达到降低工作人员的工作强度和保证活塞环的涂层质量的目的。

2021-10-19

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一种铝基钎焊复合材料及其制备方法

本发明涉及铝基钎焊复合材料及其制备方法,方法：在真空条件下采用离子束气相沉积法先在复合铝板的填料合金层表面沉积金属氧化物层,然后在真空条件下采用离子束气相沉积法继续沉积金属形成镍金属外层；制得的铝基钎焊复合材料包括芯层和钎焊复合层；钎焊复合层包括镍金属外层、金属氧化物层和填料合金层；金属氧化物层位于填料合金层和镍金属外层之间；钎焊复合层中的填料合金层位于面向芯层的一面；金属氧化物层为金属氧化物制成的层结构,所述金属氧化物层中含有30wt％以上的氧化镍；本发明的镍金属外层与填料合金层的结合力达3级及以上,铝基钎焊复合材料在采用T型式样模型进行钎焊时的焊缝长度≥30mm。

2021-10-15

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用于处理腔室的多孔喷头

喷头组件包含支撑结构和多孔板。支撑结构包含支撑特征。多孔板具有至少约50W/(mK)的热传导性并且包括多个孔,所述多个孔具有小于约100um的平均直径,其中多孔板的周边的至少一部分安置在支撑特征上。喷头可被包含在用于处理基板的处理腔室内。

2021-10-08

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应用于半导体工艺的腔室

本发明提供一种应用于半导体工艺的腔室,其包括壳体,所述壳体闭合形成反应腔,在所述壳体的外侧壁设置有导热件,所述导热件具有相对设置的第一表面及第二表面,所述第一表面与所述壳体的外侧壁接触,所述第二表面用于与外部装置接触,以在所述壳体及所述外部装置之间形成导热通道。本发明的优点在于,利用导热件在壳体与外部装置之间建立导热通道,使得热传导速率加快,进而能够快速地将所述反应腔内的热量的释放,平衡反应腔内的温度。

2021-10-01

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一种真空镀膜机排气系统用罗茨泵

本发明涉及排气设备技术领域,且公开了一种真空镀膜机排气系统用罗茨泵,包括泵体,所述泵体的右腔固定安装有电机,所述电机的左端伸出有主轴,所述主轴的外表面且位于泵体的中腔固定套装有齿轮,所述齿轮在泵体中腔啮合有同尺寸另一个齿轮。该真空镀膜机排气系统用罗茨泵,通过分气槽弧形设置连通转子凸端的外表面,使得活动块回位挤出空气时,一部分空气从导气孔输送到分气槽内排出,从分气槽喷出的气流与回流的气流方向相反,进而改变回流气流方向,防止其回流,喷出的气体对泵体的内表面冲击,在注水降温过程中,能够将水吹走,减轻水垢结成,在添加盐酸清洗时,气体的冲击力能够将反应后的水垢吹掉,水垢清除更干净。

2021-10-01

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一种新能源电力元件表面镀覆装置

本发明公开了一种新能源电力元件表面镀覆装置,本发明涉及新能源机械技术领域,包括底座,所述底座的顶部固定连接有罐体,所述罐体表面的上方位置固定连接有抽真空设备,所述罐体内侧面的顶部固定连接有轰击机构,所述轰击机构表面的上方位置固定连接有降尘机构,所述罐体内侧面的底部固定连接有搅拌机构,所述搅拌机构的顶部固定连接有混合机构,所述轰击机构包括连接壁。该新能源电力元件表面镀覆装置,通过搅拌机构、混合机构、轰击机构以及降尘机构等机构的配合使用,解决了如何分开通入各组分的保护气体并有效搅拌,被镀膜元件与承载台相接触的表面无法实现镀膜,如何使得靶材蒸发离子与电器元件表面充分接触的问题。

2021-10-01

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