本发明揭示了一种等离子体磁过滤技术制备LAGP基固体电解质的方法,该方法包括以下步骤：S1：将沉积基底固定在化学气相反应室中的可旋转基座上；S2：将弧光放电源、磁过滤管、化学气相反应室进行抽取真空；S3：采用等离子对沉积基底的镀膜表面进行清洗,去除沉积基底镀膜表面的油污及杂质；S4：将弧光放电固体源引入磁过滤管中进行筛选；S5：关闭弧光放电、磁过滤电源,释放真空度,待恢复至常压状态后打开化学气相反应室取出样品,将所得样品翻转180°,重复如上步骤进行再次沉积,最终得到LAGP基固体电解质。该方法可以有效地降低LAGP与正极材料直接的界面电阻从而使其易于形成稳定的SEI膜。

本发明公开一种金属双极板涂层及其制备方法,涉及氢燃料电池、电解水制氢技术,电渗析,双极膜等领域。它采用基材、打底层、抗氧化层、贵金属掺杂层的结构设计,其中打底层沉积在基材上,抗氧化层沉积在打底层上,贵金属掺杂层沉积在抗氧化层上。打底层的主要成分为钛及其铬、镍、铝、钨、铌中的一种或多种；抗氧化层的主要成分为铈、镧、铟、锡、锑、钽、铌、锰、钴、镍中的一种或多种；贵金属掺杂层的成分为钛、石墨或及其掺杂的贵金属钌、铱、铂、金、银中的一种或多种。制得的金属双极板导电性好,耐腐蚀性强,接触电阻小于3mΩ·cm～(2),腐蚀电流低于0.5μA/cm～(2),腐蚀电位大于0.5V,加速试验测试双极板涂层寿命超过10000小时,符合大规模使用要求。

本发明公开了一种耐高温抗结焦铬铝氮/二氧化钛复合镀层及其制备方法。以碳钢为基底,采用多弧离子镀在碳钢表面制备以Cr打底、CrN为过渡的CrAlN镀层作为中间层,然后采用原子层沉积在中间层表面制备TiO-(2)镀层。本发明采用多弧离子镀和原子层沉积相结合的方法,在基底与TiO-(2)镀层之间引入CrAlN镀层,提高了TiO-(2)镀层在高温、有氧条件下的抗剥落性能,从而使TiO-(2)镀层能更有效的发挥抗结焦功能。

本发明涉及一种双金属带锯条铣齿用涂层滚铣刀及其制备方法,包括刀具基体,还包括依次设置在刀具基体外表面的AlTiN结合层、AlTiN/V-(2)O-(5)交替层与AlTiN顶层；所述AlTiN/V-(2)O-(5)交替层由AlTiN层与V-(2)O-(5)层交替沉积所得。其中AlTiN采用电弧离子镀技术制备,V-(2)O-(5)采用磁控溅射技术制备。本发明涉及了上述涂层滚铣刀的应用,所述涂层滚铣刀主要应用于双金属带锯条的铣齿加工。本发明通过多层结构设计克服了AlTiN摩擦系数高,V-(2)O-(5)硬度低的缺点,获得兼具优异力学性能、耐磨减摩以及长切削寿命的双金属带锯条铣齿用涂层滚铣刀。

本发明公开了一种周期性多层结构涂层带锯条及其制备方法,包括带锯条基体,及依次沉积在带锯条基体外表面的CrN结合层、CrN/AlCrN功能层和AlCrN顶层；所述CrN/AlCrN功能层由CrN层和AlCrN层交替沉积所得,所述带锯条基体表面的周期性多层结构涂层由电弧离子镀技术制备；本发明还公开了上述周期性多层结构涂层带锯条的应用,主要用于石油管道、蒸汽管道与锅炉炉体等厚壁管以及厚壁钢构件的锯切。本发明通过周期性多层结构设计使涂层带锯条表现出优异的力学性能与良好的韧性,并显著提升锯切寿命。

本发明公开了一种非真空高温太阳能选择性吸收涂层的制备技术。这种技术用于非真空高温太阳能选择性吸收涂层的制备。在已有的成熟太阳能选择性吸收涂层基础上,用多弧离子镀工艺制备Cu红外反射层和隔离层,使得涂层可以在500℃以上的非真空环境下长期工作。本发明在加工过程中要求对腔室气压、气体纯度及配比、靶材尺寸及纯度、沉积电流密度、偏压、沉积时间进行严格控制,使得制备过程中各层扩散距离小于10 nm,加工过程中成分保持稳定。本发明具有沉积效率高,对基材适应性强,产品质量稳定性高,能耗低,成本低的特点。

本发明涉及类金刚石技术领域,特别是涉及一种类金刚石碳结构及其制备方法与应用。本发明通过在类金刚石碳结构中掺杂氮元素,提升了类金刚石碳结构中载流子的浓度,从而提升了类金刚石碳结构的导电性能,同时,通过掺杂了与氮元素质量比为(1～10):1的氧元素,不仅进一步提升了载流子的浓度,而且降低了类金刚石碳结构中的氢含量,平衡了掺氮带来的sp～(2)结构含量的增加,避免了硬度、强度等力学性能的下降,拓展了类金刚石碳结构的应用场景,尤其是大大提升了其在3C电子领域的可用性。

一种防松动的刀具涂层真空离子镀加工用限位固定装置,本发明涉及真空离子镀加工用夹具技术领域,它包含工作台、密封箱、密封套、密封座、夹具,其中密封箱固定设置在工作台的上表面上,密封箱的前侧板下边穿设固定有密封套,密封座插设在密封套内,密封座的后侧壁上固定设置有夹具,且夹具设置在密封箱内；它还包含限位组件、驱动组件,其中驱动组件固定设置在工作台上,密封座设置在驱动组件上,限位组件设置在密封座上；其设置的驱动结构采用主动推动与滑动的方式相结合,进而实现在定位之前装置的缓慢减速,防止主动减速造成工件夹持点的剧烈晃动,保证工件夹持的牢固。

本公开涉及一种电弧离子镀膜装置及镀膜方法,电弧离子镀膜装置包括：真空室,其腔体内为真空环境；电弧产生部件,设在真空室内,包括阴极靶、阳极和引弧器,阴极靶呈柱状且用于释放等离子体,引弧器设在阴极靶和阳极之间,用于产生带电粒子以引导阴极靶的侧面与阳极之间产生电弧对工件镀膜；支撑架,设在真空室内,支撑架设在阳极远离阴极靶的一侧,用于放置工件；和供电部件,包括弧电源和第一蓄能器,弧电源具有第一输出端和第二输出端,第一输出端用于输出脉冲电压且与引弧器连接,第二输出端用于输出可调直流电压且用于对第一蓄能器充电,第一蓄能器的负极和正极分别与阴极靶和阳极连接。

本申请涉及氮化物涂层领域,具体公开了一种氮化物涂层制备方法、氮化物涂层及其应用。氮化物涂层制备方法,包括：采用多弧离子镀在基材上镀制Cr中间过渡层；将多弧离子镀电源接连AlCrWSi靶,磁控溅射电源接连AlCrSi靶；多弧离子镀和磁控溅射同时作用,在基材上镀制AlCrSiWN功能层。氮化物涂层,采用上述氮化物涂层制备方法制得；氮化物涂层包括AlCrSiWN功能层以及设置在AlCrSiWN功能层和基材之间的Cr中间过渡层。刀具,其表面镀制有上述氮化物涂层。本申请所制得的氮化物涂层具有较高的硬度、较佳的耐磨性以及较好的耐高温性；将该涂层镀制在刀具上,赋予了刀具良好的硬度、耐磨性和耐高温性,使刀具在加工过程中能保持良好的切削稳定性,同时还增加了刀具的使用寿命。