一种磁力驱动真空镀膜传送装置及传送方法

本发明涉及磁力驱动真空镀膜传送装置,包括真空镀膜腔室,真空镀膜腔室的一端设置有进出料口以及密封门,真空镀膜腔室的另一端密封穿设有非铁质的导磁管；真空镀膜腔室内设置有移动环,移动环的外侧表面固定有工件治具,移动环的内侧表面设置有第一吸附环和第二吸附环；导磁管的开口一端穿设有磁驱动件；还包括驱动组件、无线式水平监测模组和控制主机；导磁管的外侧表面同轴设置有多个定位槽；磁驱动件和驱动组件均与控制主机电性连接并受其控制；应用本申请的发明,可将真空镀膜上的传送装置的动力部分移动到了真空室的外部,使得整体密封性更好,同时能够大幅降低真空腔的生产成本。

2021-11-02

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一种真空镀膜产品多角度翻转设备及方法

本发明涉及真空镀膜产品多角度翻转设备,包括治具板和调节板,治具板和调节板通过多个弹性件连接；治具板的上表面设置有多个治具以及一一对应纵向转动安装治具的治具转架,治具上连接有横向的旋转齿轮；调节板的上表面固定有多个与旋转齿轮一一对应啮合的纵向齿条,治具板上设置有与纵向齿条配合的导向通孔；治具板的下表面连接有旋转轴,旋转轴连接有驱动其旋转的旋转电机,旋转电机设置在真空室外；旋转轴上设置有带动调节板超背离治具板方向移动的分离组件,真空室上围绕旋转电机设置有多个推动触发分离组件运动的触发组件,触发组件与分离组件不连接；应用本设备能够进行多个角度的翻转,且成本极低,稳定性好。

2021-11-02

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一种光学滤光片镀膜方法

本发明提供一种光学滤光片镀膜方法,采用双面磁控溅射镀膜设备,在镀膜支架上沿周向安装多个基片,在镀膜支架上方和下方分别设置上靶材和下靶材,在上靶材与镀膜支架之间和下靶材与镀膜支架之间均设置膜厚补偿结构以对上靶材和下靶材部分遮挡,旋转镀膜支架,利用上靶材和下靶材在基片两面同时进行镀膜,得到光学滤光片。本发明实现基片两面同时镀膜,同时,可满足批量加工,实现大口径基片整面分光的一致性。

2021-11-02

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利用磁控溅射在硅衬底上制备的金属铪薄膜、方法和应用

一种利用磁控溅射在硅衬底上制备的金属铪薄膜、方法和应用。利用磁控溅射在硅衬底上制备金属铪薄膜方法,包括：将硅衬底和金属铪靶材装入磁控溅射设备生长室,对硅衬底进行超高真空高温烘烤处理；利用磁控溅射反溅射干式清洗工艺对硅衬底进行表面溅射处理；利用磁控溅射沉积工艺在硅衬底上制备氮化铪阻挡层；利用磁控溅射溅射沉积工艺在氮化铪阻挡层上制备金属铪薄膜；对金属铪薄膜进行原位真空高温退火处理,降温至室温完成金属铪薄膜制备。本发明利用磁控溅射工艺在硅衬底上实现金属铪薄膜单一择优取向高结晶质量制备。所制备的金属铪薄膜可应用于欧姆接触金属电极材料或硅衬底氮化镓材料异质外延制备中的导电缓冲层材料。

2021-11-02

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用于制造显示装置的设备和用于制造显示装置的方法

提供了用于制造显示装置的设备和用于制造显示装置的方法。所述设备包括：第一壳体,具有第一腔室；支撑构件,设置在第一腔室中并且包括具有多个开口的框架；多个粘合图案,设置在框架上；以及多个静电支撑件,与多个开口叠置并且被支撑用于在多个开口中的相应开口中往复移动。

2021-10-29

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一种透镜镀膜夹具

本申请提供了一种透镜镀膜夹具,包括支撑主架,所述支撑主架的底部安装有用于调整装置适用于不同规格透镜的调节机构,所述调节机构的前端连接有用于承载透镜的抵压机构,所述支撑主架的底部后方安装用用于清理浮尘的清理机构,所述清理机构的上端内侧连接有定位机构,所述清理机构的上端安装有用于控制对透镜夹持的控制机构,所述控制机构的内侧安装有限位机构。本申请通过设置的调节机构,在连接块的作用下,可使均与连接块啮合连接的第一活动杆和第二活动杆按照相反的方向进行滑动,从而可控制第一调整块和第二调整块相互靠近或远离,方便对不同尺寸规格的透镜进行稳定的支撑放置,可增强装置的实用性。

2021-10-29

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一种便于定位的溅镀机用定位装置及定位方法

本发明公开了一种便于定位的溅镀机用定位装置及定位方法,包括所述主体的上方设有盖板,所述盖板上等角度设有连通所述空腔的进料口、溅镀口和出料口,所述空腔的中间位置处设有驱动机构,所述驱动机构通过横杆连接有多个安装盘,所述安装盘上设有用于安装光盘的安装槽,所述安装槽的中心位置处设有用于固定光盘的定位轴芯,所述盖板上设有连接环,所述连接环连接有阴极,所述定位夹具的中间设有与所述定位轴芯同轴同径的定位孔,所述定位夹具与所述连接环连接,移动所述定位夹具与所述连接环,使所述定位孔套于所述定位轴芯上,将所述连接环固定到所述盖板上,实现所述阴极与待溅镀光盘的快速定位,从而提高工作效率。

2021-10-29

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一种防松动的刀具涂层真空离子镀加工用限位固定装置

一种防松动的刀具涂层真空离子镀加工用限位固定装置,本发明涉及真空离子镀加工用夹具技术领域,它包含工作台、密封箱、密封套、密封座、夹具,其中密封箱固定设置在工作台的上表面上,密封箱的前侧板下边穿设固定有密封套,密封座插设在密封套内,密封座的后侧壁上固定设置有夹具,且夹具设置在密封箱内；它还包含限位组件、驱动组件,其中驱动组件固定设置在工作台上,密封座设置在驱动组件上,限位组件设置在密封座上；其设置的驱动结构采用主动推动与滑动的方式相结合,进而实现在定位之前装置的缓慢减速,防止主动减速造成工件夹持点的剧烈晃动,保证工件夹持的牢固。

2021-10-29

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一种对不同尺寸刀具进行真空离子镀设备中的固定装置

一种对不同尺寸刀具进行真空离子镀设备中的固定装置,本发明涉及真空离子镀设备技术领域,其中底座上固定设置有支架,支架上固定设置有低压密封箱,底座上固定设置有真空气泵,真空气泵与低压密封箱管道贯通设置,支架上固定设置有气相生成装置,气相生成装置的出口端密封穿设固定在低压密封箱的上侧板上；供料组件固定设置在支架上,刀头固定组件固定设置在供料组件的输出端上；其加进设备设置定位用的插入用孔,并设置定位结构,进而实现工件插入后裸露表面的可控,其夹紧装置设置为可旋转,可升降,进而能够减小工作时低压密封箱内的占用体积,减小低压密封箱的整体容积,进而控制在泄压取放工件时镀膜原料的损失。

2021-10-29

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一种用于采掘截割刀具表面制备超硬耐磨涂层的方法

本发明公开了一种用于采掘截割刀具表面制备超硬耐磨涂层的方法,采用真空等离子体气相沉积超硬耐磨涂层技术,在截割刀具表面涂覆超硬耐磨涂层以提高截齿工作过程中的使用寿命,减少更换频次,延长采煤时间和采煤量。本发明制备的截割刀具表面超硬耐磨涂层,厚度为3.0～5.0微米,涂层硬度30～40GPa,在室温干摩擦和对副为GCr15条件下,销盘实验测出的涂层的摩擦系数为0.40～0.70,压入法测试,其结合力为HF1级。表明涂层具有很好的结合力和耐磨损性能。

2021-10-29

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