本发明提供了一种硅基分子束异质外延生长材料的制备方法及忆阻器和应用,所述外延生长材料的结构是在P型Si衬底上依次生长SrTiO-(3)层、La-(0.67)Sr-(0.33)MnO-(3)层、(BaTiO-(3))-(0.5)-(CeO-(2))-(0.5)层；硅基外延生长结构是在特定温度和特定氧压的情况下,依次生长第一层SrTiO-(3)层、第二层La-(0.67)Sr-(0.33)MnO-(3)层、第三层BaTiO-(3)与CeO-(2)原子比为0.5∶0.5的(BaTiO-(3))-(0.5)-(CeO-(2))-(0.5)层。本发明所提供的硅基分子束异质外延生长方法使用激光脉冲沉积法,方法比较简单,容易控制,第一层SrTiO-(3)缓冲层的厚度可达到40nm,并实现了忆阻器功能及仿神经特性。

本发明公开了一种二氧化碳激光超硬膜及其制备方法,二氧化碳激光超硬膜的膜层结构为：SUB/aHbLcHdM/A,其中,SUB代表ZnSe基底、A代表空气、H代表Ge、L代表ZnS、M代表DLC；a、b、c和d代表每层的四分之一参考波长光学厚度的系数。本发明二氧化碳激光超硬膜,用极少的间隔膜层,得到了光学性能优良、制备重复性好、膜层附着力强、耐摩擦的激光超硬增透膜,该增透膜在10.6μm和9.4μm波段的透过率均>99.5％,满足了激光的保护窗的使用要求。

本发明涉及磁力驱动真空镀膜传送装置,包括真空镀膜腔室,真空镀膜腔室的一端设置有进出料口以及密封门,真空镀膜腔室的另一端密封穿设有非铁质的导磁管；真空镀膜腔室内设置有移动环,移动环的外侧表面固定有工件治具,移动环的内侧表面设置有第一吸附环和第二吸附环；导磁管的开口一端穿设有磁驱动件；还包括驱动组件、无线式水平监测模组和控制主机；导磁管的外侧表面同轴设置有多个定位槽；磁驱动件和驱动组件均与控制主机电性连接并受其控制；应用本申请的发明,可将真空镀膜上的传送装置的动力部分移动到了真空室的外部,使得整体密封性更好,同时能够大幅降低真空腔的生产成本。

本申请公开了一种包括控制系统的反应溅射设备及反应溅射方法,通过采集溅射电压或功率的方式来建立闭环控制反馈机制,通过控制器改变溅射功率来准确地来调控反应氧化的阶段及靶材的氧化程度,使氧化钒的反应稳定地处于过渡模式。本申请采用调整功率控制电流稳定的方案,成膜的均匀性好,有助于规模化生产,反应对调控功率的响应速度快,无调控反应气流技术方案中滞后效应。

本发明涉及一种双金属带锯条铣齿用涂层滚铣刀及其制备方法,包括刀具基体,还包括依次设置在刀具基体外表面的AlTiN结合层、AlTiN/V-(2)O-(5)交替层与AlTiN顶层；所述AlTiN/V-(2)O-(5)交替层由AlTiN层与V-(2)O-(5)层交替沉积所得。其中AlTiN采用电弧离子镀技术制备,V-(2)O-(5)采用磁控溅射技术制备。本发明涉及了上述涂层滚铣刀的应用,所述涂层滚铣刀主要应用于双金属带锯条的铣齿加工。本发明通过多层结构设计克服了AlTiN摩擦系数高,V-(2)O-(5)硬度低的缺点,获得兼具优异力学性能、耐磨减摩以及长切削寿命的双金属带锯条铣齿用涂层滚铣刀。

本发明公开了一种周期性多层结构涂层带锯条及其制备方法,包括带锯条基体,及依次沉积在带锯条基体外表面的CrN结合层、CrN/AlCrN功能层和AlCrN顶层；所述CrN/AlCrN功能层由CrN层和AlCrN层交替沉积所得,所述带锯条基体表面的周期性多层结构涂层由电弧离子镀技术制备；本发明还公开了上述周期性多层结构涂层带锯条的应用,主要用于石油管道、蒸汽管道与锅炉炉体等厚壁管以及厚壁钢构件的锯切。本发明通过周期性多层结构设计使涂层带锯条表现出优异的力学性能与良好的韧性,并显著提升锯切寿命。

本发明公开了一种非真空高温太阳能选择性吸收涂层的制备技术。这种技术用于非真空高温太阳能选择性吸收涂层的制备。在已有的成熟太阳能选择性吸收涂层基础上,用多弧离子镀工艺制备Cu红外反射层和隔离层,使得涂层可以在500℃以上的非真空环境下长期工作。本发明在加工过程中要求对腔室气压、气体纯度及配比、靶材尺寸及纯度、沉积电流密度、偏压、沉积时间进行严格控制,使得制备过程中各层扩散距离小于10 nm,加工过程中成分保持稳定。本发明具有沉积效率高,对基材适应性强,产品质量稳定性高,能耗低,成本低的特点。

本发明涉及一种机械元件,所述机械元件具有无定形碳涂层(具有至少70％原子的碳,氢除外)并且旨在通过滑动与其表面硬度为涂层硬度的至多三分之二的对应元件协同工作,这个涂层具有通过轮廓测定法测量为至多等于0.050微米的粗糙度Ra,以及通过原子力显微术测量为至少等于0.004微米并且至多等于0.009微米的微粗糙度。这将硬度较小的对应元件的损耗以及涂层的损耗减至最小。

本发明提供了一种多相BN-Y/CrAlN复合涂层及其制备方法,属于涂层材料技术领域。本发明提供的多相BN-Y/CrAlN复合涂层包括交替层叠排列的CrAlN层和多相BN-Y层；所述多相BN-Y层的微观结构包括面心立方结构的CrAlN相和六方结构的BN相；每层CrAlN层的厚度独立地为4～6nm；每层多相BN-Y层的厚度独立地为0.4～2.4nm；所述多相BN-Y/CrAlN复合涂层的总厚度为1.2～1.6μm。本发明提供的BN-Y/CrAlN复合涂层的硬度为24.4～30.1GPa,韧性可达9.82～11.86MPa·m～(1/2),可作为干式、高速切削刀具表面涂层和高温服役耐磨工件的保护涂层。

本发明公开了一种射频溅射蓝色膜层的方法,包括步骤如下：步骤一：清洁基材,将清洁后的基材放置于镀膜机腔体内的转台上；步骤二：开启真空抽气系统,将腔体内的真空度抽至5.0*10～(-3)～1.0*10～(-2)Pa；步骤三：通入惰性气体,使得腔体内的真空度维持在3.0*10～(-1)～5.0*10～(-1)Pa,之后开启射频溅射电源,调节输出功率,沉积金属Zr进行打底处理；步骤四：通入惰性气体和氮气,使腔体内真空度维持在1.0～1.6Pa,之后开启射频溅射电源,调节输出功率,沉积金属氮化物ZrN。本发明的蓝色膜层采用射频溅射方式对金属或非金属基材进行镀膜,在镀膜过程中,基材无需施加偏压,均能够在金属或非金属材料表面获得蓝色膜层,且所获得的蓝色膜层颜色均匀。