本发明公开了一种导电薄膜的加工系统及制备工艺,涉及基材镀膜技术领域；包括第一真空磁控镀膜装置,用于在薄膜的表面形成磁控溅射合金层；第二真空磁控镀膜装置,设置在第一真空磁控镀膜装置后方,用于在磁控溅射合金层的外表面形成第一镀铜层；第二镀铜层成型装置,设置于第二真空磁控镀膜装置后方,用于在第一镀铜层的外表面形成第二镀铜层；水镀装置,设置在第二镀铜层成型装置的后方,用于在第二镀铜层外表面形成增厚导电铜层；本发明的有益效果是：提高了铜层表面的均匀性和致密性,提高了导电薄膜的品质。

本发明涉及连续真空镀膜装置,包括真空镀膜腔室、真空上下料腔室和自动上下料组件,真空镀膜腔室和真空上下料腔室通过横向的密封组件隔开,密封组件包括密封板和密封框,密封框将真空镀膜腔室和真空上下料腔室分隔开,密封板封闭密封框的内孔；密封板的上表面以及下表面均设置有多个工件治具；真空镀膜腔室内设置有驱动密封板进行纵向翻转的翻转组件和带动翻转组件升降的升降组件；真空上下料腔室的真空门设置在其底面,自动上下料组件用于对处于开启状态下的真空上下料腔室内的工件治具上工件进行上下料；能够在保障实现连续真空镀膜加工的前提下,减少一套抽真空腔室设备,使得成本能够大幅降低,同时还具有较高的自动化加工性能。

本发明公开了柔性导电卷材的生产加工系统及制备工艺,涉及基材镀膜领域；该生产加工系统包括第一真空镀膜装置,用于在薄膜基材表面形成磁控溅射镀膜；第二真空镀膜装置,位于第一真空镀膜装置后方,用于在磁控溅射镀膜上形成第一金属镀层；第一水镀装置,位于第二真空镀膜装置后方,采用碱性水镀设备,在第一金属镀层上形成过渡金属镀层；第二水镀装置,位于第三真空镀膜装置后方,采用酸性水镀设备,在第一金属镀层上形成增厚金属镀层；本发明的有益效果是：能够避免蒸镀工艺的高温因素对膜面串泡和孔洞的影响,可以有效的解决串泡问题,同时解决原蒸镀工艺的高温金属微粒将基膜击穿的孔洞问题。

本发明涉及一种蒸镀设备,更具体的说是一种防止堵塞的蒸镀设备,包括清洁上箱体机构、蒸镀下箱体机构、防堵接真空泵机构,设备能够进行清理蒸镀空间,设备能够排出废液,设备能够进行蒸镀,设备能够保证真空泵的良好使用,所述的清洁上箱体机构与蒸镀下箱体机构相连,蒸镀下箱体机构与防堵接真空泵机构相连。

本发明提供了一种蒸镀机电极的支撑装置及用途,所述的支撑装置包括至少一个支撑件,所述蒸镀机内壁周向设置有支撑件,用于将电极固定并支撑于蒸镀机上,所述支撑件的表面涂覆有镍铁氟龙层。在本发明中,在支撑装置表面镀镍铁氟龙层,使铁氟龙微粒进入镍磷合金镀层,极大的改善镍磷镀层的化学性能,增加化学镍镀层的耐蚀性和耐酸碱特性,并且镀层的摩擦系数大幅降低,从而大幅改善金属材料的性能,使得零部件减少腐蚀、磨损,不易损坏。

本发明涉及反光膜加工工艺技术领域,具体为一种正面呈蓝色的幻彩反光膜制作方法,包括以下步骤：S1、制作植珠基膜；在PET膜上植入直径为35～55μm、折射率为1.9～1.95的玻璃珠；S2、将植珠基膜安装于高真空镀膜设备的蒸镀腔室内；S3、将包含硫化锌的靶材放置于真空电镀机的蒸槽内；S4、在靶材加热温度1000～1200℃,蒸镀腔室内气压1.0×10～(-1)Pa～2.0×10～(0)Pa,植珠基膜线速度50～90m/min的参数条件下完成整卷植珠基膜的蒸镀工序；S5、对整卷植珠基膜的蒸镀工序完成后,关闭各设备,将蒸镀腔室内的气压调整至与外界大气压平衡的气压值；S6、打开蒸镀腔室；得到的反光膜正面呈蓝色反光,改变视角时呈紫色反光,且反光颜色均匀,色彩纯度高。

本发明提供一种用于金属双极板的预涂层金属带材的制备方法及系统,方法包括如下步骤：S1：在惰性气体保护气氛下,将待处理金属带材进行磁控溅射处理,使得所述待处理金属带材的表面沉积防腐涂层,得到处理后的金属带材；S2：在惰性气体保护气氛下,将所述处理后的金属带材于700-1000℃下进行烧结处理,得到预涂层金属带材。解决现有金属双极板表面采用有机涂层,涂层的防腐性能弱,机械性能差的问题,或者解决现有金属双极板表面采用无机涂层,例如贵金属涂层,使得燃料电池金属双极板的制造成本高,不利于燃料电池商业化推广的问题。

本发明涉及氧化铝膜的制备领域,具体的是一种透明高阻隔氧化铝膜的制备方法及其装置,包括传送装置和收卷装置,传送装置和收卷装置之间缠绕有PET膜基材,底板靠近传送装置的一侧上方为真空室,传送装置的上方设置有水平驱动机构,水平驱动机构的底端安装有镀膜机构,镀膜机构设置在PET膜基材的正上方；传送装置和收卷装置之间设置有支撑架,支撑架内设置有高度可调的加热棒,支撑架的两端分别设置有阻隔涂层涂布机构和第一热封涂层涂布机构,支撑架和收卷装置之间设置有第二热封涂层涂布机构。使用时,PET膜基材镀膜后穿出真空室,然后经过涂布、张紧、初步烘干,最后利用收卷装置进行收卷,得到透明高阻隔氧化铝膜成品,提高了工作效率。

一种低温快速韧性渗氮后原位沉积PVD涂层的装置及沉积方法,本发明涉及一种低温快速韧性渗氮后原位沉积PVD涂层的装置及沉积方法。本发明的目的是解决现有问题,首先利用电弧增强辉光放电技术对研磨抛光清洗后的高速钢基体表面进行Ar～(+)、H～(+)等离子体刻蚀清洗；然后往真空室内连续通入高纯氮气、高纯氢气或高纯氮气、高纯氢气和惰性气体氩气,进行等离子体渗氮处理；最后在相近温度下,利用电场增强阴极弧技术原位沉积PVD涂层。本发明在传统设备上增加了辅助阳极,以及在一侧阴极弧源前增加了L型挡板,实现了低温快速韧性渗氮后原位沉积PVD涂层。本发明应用于原位沉积PVD涂层领域。

本发明公开一种沉积炉的连续化进出料的装置及其方法,沉积炉置于一自由伸缩隔热桶内,还包括一自动料盘和丝杠升降机构,自动料盘在丝杠升降机构的作用下完成提升和下降,提升时,提升至沉积炉的炉底位置,且自由伸缩隔热桶在所述丝杠升降机构的作用下完成收缩和伸展。本发明主要解决了沉积炉的连续化作业问题,可以有效提升沉积炉的工作效率,降低人力及资源浪费。