首页
最新技术
特色专题
技术名词
热点聚焦
行业风向
登录
注册
自金属卤化物
用于远程等离子体处理的室调节
本发明涉及用于远程等离子体处理的室调节。本文描述的方法、系统和装置涉及用于远程等离子体处理的室调节,特别地涉及远程的基于氮的等离子体处理。本公开的某些实现方式涉及用于特征填充的包括室调节的远程等离子体抑制处理。本公开的实施方式涉及在衬底(诸如半导体晶片)的基于氮的远程等离子体处理之前将远程等离子体处理室暴露于氟物质。晶片内均匀性和晶片间均匀性得到改善。
2021-11-02
访问量:31
在没有阻挡层的情况下的原位钨沉积
公开了用于在不使用阻挡层的情况下沉积金属膜的原位方法。一些实施方式包括形成包括硅或硼中的一种或多种的非晶成核层并且在所述成核层上形成金属层。这些工艺在工艺之间没有空气隔断的情况下执行。
2021-10-01
访问量:43
注册成为会员可查看更多数据。
热门专题
左旋肉碱的制备方法 左旋肉碱生产工艺 左旋肉碱相关技术资料
免烧砖的制造方法及应用 免烧砖相关专利技术
水溶肥制备方法和应用 水溶肥相关技术资料
保温砂浆及其制备方法 保温砂浆相关技术资料
聚羧酸减水剂的配方 聚羧酸减水剂制备方法 聚羧酸减水剂相关技术资料
除湿机的结构设计 新型工业除湿机的制造 除湿机相关技术资料
脱硫剂的制备方法及系统 脱硫剂数字化评价装置及其评价方法
硅基材料的生产工艺 新型硅基负极材料 硅基材料相关生产制备工艺
柔性电池的制备方法 柔性电池的工艺原理 柔性电池相关生产制备技术资料
汽车充电桩的设计原理 新型汽车充电桩 汽车充电桩的生产制造设计工艺
技术分类
后处理
多步法渗多种元素
黑色金属表面的
碳氮共渗
一步法渗多种元素
黑色金属表面的
渗硼
黑色金属表面的
渗碳
仅渗一种元素
使用固体,例如粉末、膏剂的
多步法渗多种元素
黑色金属表面的
碳氮共渗
一步法渗多种元素
黑色金属表面的
渗氮
黑色金属表面的
渗碳
仅渗一种元素
使用液体,例如盐浴、悬浮液的
黑色金属表面的处理
使用电离气体的,例如离子氮化
多步法渗多种元素
黑色金属表面的
碳氮共渗
一步法渗多种元素
黑色金属表面的
渗氮
黑色金属表面的
渗碳
黑色金属表面的氧化
使用含氧化合物,例如H2O、CO2
黑色金属表面的氧化
使用元素氧或臭氧的
氧化
仅用一种元素的
使用气体的
局部表面的处理,例如使用掩蔽物的
被覆材料的预处理
拨打电话
下载资料
栏目导航
会员登录