沉积设备(10)包含用于以大致竖直方位支撑基板(100)的第一基板支撑件(180)。基板(100)具有第一主表面(120)、相对于第一主表面(120)的第二主表面(130)、与介于第一主表面(120)和第二主表面(130)之间的侧表面(110)。沉积设备(10)包含第一沉积装置(190),第一沉积装置(190)用以在第一基板支撑件(180)以大致竖直方位支撑基板(100)时,在基板(100)的侧表面(110)上沉积第一导电图案(250)或第一抗蚀剂掩模(260)。

喷涂于滚动轴承表面的高性能复合绝缘涂层,该复合绝缘涂层喷涂于环状滚动轴承内套圈的内圆周表面和外套圈的外圆周表面,包括金属过渡层、陶瓷绝缘层和高分子封闭层,金属过渡层由75wt%的Ni、15wt%的Cr、5wt%的Al和5wt%的Y组构成的合金喷涂而成,陶瓷绝缘层由95-99.5wt%的γ-Al-(2)O-(3)和0.5-5wt%的CeO-(2)组构成的混配粉末喷涂而成,高分子封闭层的原料为呋喃树脂和磺酸类固化剂。本发明适配于普通滚动轴承的,具有结合强度高、韧性强、温度适应范围宽,致密度高等优异性能,能够让电机绝缘轴承在拥有优良机械性能的基础上抵抗轴电流的侵蚀,实用效果较好。

本发明公开了一种快速翻遍和快换式的喷涂防护夹具和喷涂方法,包括：用于装夹组合件并暴露出组合件的喷涂区域的移动装置、用于安装定位移动装置以便于实现对组合件整体喷涂的固定装置；移动装置便于对喷涂区域进行整体吹砂粗化处理；移动装置与固定装置安装配合,并带动组合件整体翻遍,以保证喷涂区域涂层厚度的均匀性；固定装置安装在喷涂装置的转台上。本发明的快速翻遍和快换式的喷涂防护夹具,在现有夹具防护的基础上引入剥离式装夹、快速换型理念,加工时间从2～3小时缩短至30min～60min,显著缩短工时,提高了加工效率,降低了加工成本,可带来较大的经济效益。