本发明公开了一种硅腐蚀液,包括以下重量份的原料:氢氟酸8-12份、硝酸70-78份、去离子水15-25份、复合缓蚀剂6-13份。且本发明利用了吡啶-4-甲醛为底物,使其与甲苯、高锰酸钾、二乙烯三胺、硫脲逐步反应形成了复合缓蚀剂;该复合缓释剂通过分子中的氮原子、硫原子、分子机构的大π键与金属形成配位键或化学共价键,在金属表面形成一层致密的疏水膜,阻碍了溶液中的氢离子对金属的腐蚀,但是该复合缓释剂中的的氮原子、硫原子、分子机构的大π键不能与硅形成配位键或共价键,不能在硅表面形成保护膜,不影响腐蚀液对硅的腐蚀行为,实现了对硅腐蚀高效,同时对金属腐蚀低效。