利用辐射压力或辐射计效应
一种基于辐射压力的激光功率测量装置及方法
本发明提供了一种基于辐射压力的激光功率测量装置及方法,给出了激光功率与辐射压力计算方法和辐射压力功率计测量结构方案;提出了一种针对微量压力传感器的高精度溯源方法。其中,装置结构,包括支撑板,二个机械支架,二个微量压力传感器天平,微量压力传感器,天平力臂,二个安装负载,二个怀特池结构多反射光学腔镜及激光光束。微量压力传感器采用高精度电磁力平衡结构传感器,在50mN的量程范围可实现100nN的分辨率。激光入射于怀特池结构多反射光学腔的镜面,入射光轴与反射镜法线夹角为θ,入射光在光学腔内多次反射,在镜面上产生的辐射压力通过天平力臂进行杠杆放大,通过微量压力传感器进行辐射压力测量,实现较小激光功率(小于100W)测量。

2021-10-29

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