一种紧凑型宽谱段偏振光谱成像系统

本发明公开了一种紧凑型宽谱段偏振光谱成像系统,由前置望远系统、分光系统和偏振光谱成像系统组成。景物目标由前置望远系统经由分光系统分为三个光路,分别汇聚成像到狭缝上,再经折反射透镜、反射式光栅和偏振片组按波长不同成像在面阵探测器。本发明解决了宽谱段和高光谱分辨率时光路庞大的问题；仅含有一个折反射透镜,结构简单、紧凑,尺寸相对减小,安装便捷；三个通道的探测提高了系统的探测分辨率。本发明适用航天航空、工业等领域,降低了仪器的研制难度。

2021-10-29

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一种光谱分析装置及系统

本发明涉及一种光谱分析装置及系统,包括设置在外壳内的狭缝、消像差元件、准直镜、光栅、聚焦镜、光电探测器以及设置在外壳外的光纤接头；狭缝与光纤接头配合连接,用于将被测光导入并投射到准直镜；消像差元件设置于狭缝与准直镜之间,用于补偿像差；准直镜,用于将通过狭缝投射的被测光准直反射到光栅；光栅,用于将准直镜反射的被测光衍射到聚焦镜；聚焦镜,用于将光栅衍射后的被测光聚焦到光电探测器；光电探测器,用于接收聚焦镜衍射的被测光以获得相应的光谱。本发明通过有效地弥补光学像差以提高光谱分析装置的光谱分辨率,具有高分辨率、小体积的优势,可广泛用于拉曼光谱应用以及无接触色共焦测量厚度等应用。

2021-10-29

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一种用于显微拉曼光谱仪的自动对焦系统及对焦方法

本发明提供了一种用于显微拉曼光谱仪的自动对焦系统及对焦方法,包括激光器、PSD位置传感器、数模转换器、处理器、步进电机与载物台；所述激光器发射激光照射位于载物台的样品上后反射至所述PSD位置传感器,所述PSD位置传感器将探测得的位置模拟信号传输给数模转换器转换为数字信号,所述数字信号经过处理器计算的得出样品的位置信息,并根据所述位置信息发送脉冲给所述步进电机带动所述载物台进行对焦。本发明利用PSD位置传感器实现显微拉曼的快速对焦功能。同时本发明响应速度快,无需复杂算法,硬件设计简单,1毫秒即可执行对焦操作。

2021-10-26

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全太阳光谱装置和方法

太阳光谱辐照度(SSI)测量对于太阳能集热器/光伏电池板效率和太阳能资源评估,以及科学气象/气候观测和材料测试研究而言,非常重要。迄今为止,此类测量利用的是基于改进型衍射光栅的科学仪器,体积庞大、价格昂贵,对于通用结构而言,机械完整性很低。作为现场太阳能资源评估和模块性能表征研究的一部分,提供准确确定全太阳光谱以及全部水平或倾斜辐照度的紧凑型且成本效益高的工具是有利的。所述工具在开阔场地、非控制部署中不设有机械和环境稳定性的移动部件,并可利用软件来解析280-4000nm光谱内所测量的全球、直射和漫射的太阳光谱,除了主要的大气过程(例如,空气质量、瑞利散射、气溶胶消光、臭氧和水蒸气吸收)之外。

2021-10-22

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用于使用静态几何偏振操纵的偏振测定的方法和系统

公开了用于使用偏振状态的静态几何操纵的偏振测定的系统和方法的实施方案。根据一个实施方案,一种分光偏振计包括具有几何变化快轴的延迟器。所述快轴沿着测定偏振的维度变化。所述分光偏振计具有偏振分析器和光谱光学平台。所述光谱光学平台具有：狭缝,所述狭缝在与所述延迟器的所述测定偏振的维度相同的空间维度上；准直器；分散元件,用于将从所述准直器接收的光的光谱分量沿着垂直于所述狭缝的所述空间维度的光谱维度分散；聚焦光学器件；以及二维探测器阵列。使用四分之一波延迟器可以提供完整的斯托克斯偏振测定,但是也可以使用半波延迟器。

2021-10-19

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用于使用静态几何偏振操纵的偏振测定的方法和系统

公开了用于使用偏振状态的静态几何操纵的偏振测定的系统和方法的实施方案。根据一个实施方案,一种分光偏振计包括具有几何变化快轴的延迟器。所述快轴沿着测定偏振的维度变化。所述分光偏振计具有偏振分析器和光谱光学平台。所述光谱光学平台具有：狭缝,所述狭缝在与所述延迟器的所述测定偏振的维度相同的空间维度上；准直器；分散元件,用于将从所述准直器接收的光的光谱分量沿着垂直于所述狭缝的所述空间维度的光谱维度分散；聚焦光学器件；以及二维探测器阵列。使用四分之一波延迟器可以提供完整的斯托克斯偏振测定,但是也可以使用半波延迟器。

2021-10-19

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用于使用静态几何偏振操纵的偏振测定的方法和系统

公开了用于使用偏振状态的静态几何操纵的偏振测定的系统和方法的实施方案。根据一个实施方案,一种分光偏振计包括具有几何变化快轴的延迟器。所述快轴沿着测定偏振的维度变化。所述分光偏振计具有偏振分析器和光谱光学平台。所述光谱光学平台具有：狭缝,所述狭缝在与所述延迟器的所述测定偏振的维度相同的空间维度上；准直器；分散元件,用于将从所述准直器接收的光的光谱分量沿着垂直于所述狭缝的所述空间维度的光谱维度分散；聚焦光学器件；以及二维探测器阵列。使用四分之一波延迟器可以提供完整的斯托克斯偏振测定,但是也可以使用半波延迟器。

2021-10-19

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一种多用途便携式光谱检测装置

本发明涉及一种多用途便携式光谱检测装置,包括,中空状的外壳腔体、固定于该外壳腔体内的分光镜和图像传感器,外壳腔体具有第一端口和第二端口,图像传感器固定于所述第二端口处；分光镜具有一壳体,该壳体具有一入光口和一出光口,入光口靠近第一端口,出光口靠近第二端口,待测光沿第一端口进入入光口,传输经过分光镜之后依次沿出光口和第二端口出射进入图像传感器；外壳腔体具有侧壁,侧壁与壳体之间通过可拆卸式的固定件固定。本发明光谱检测装置的第一端口可根据检测的不同需求安装不同的组件,实现例如是光谱仪、色彩照度计、高光谱成像、拉曼检测等不同的功能,克服了现有的光谱仪成本昂贵、用途专一的特点。

2021-10-15

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基于激光的原位排气传感器

一种激光吸收光谱排气传感器,包括：具有多孔壁[404]的光学池,该多孔壁[404]具有平均直径在0.1nm至1mm的范围内的平均直径的孔；光学池内的金镜[405],被定位以支持光学池内的多通光学路径[412]；主动加热元件,适于加热所述光学池以防止凝结；激光器,适于生成激光束；光学检测器[408],适于检测返回的激光束；以及处理器,用于控制激光器和主动加热元件并且用于分析来自光学检测器的信号以识别光学池中的气体。

2021-09-28

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一种终点检测装置、蚀刻设备以及检测方法

本发明涉及一种终点检测装置、蚀刻设备及检测方法。所述终点检测装置包括：石英件、第一滤光片、第二滤光片以及光检测模块,本发明提供的终点检测装置通过设置分别用于加工产生的光和检测光源发出的光通过的第一滤光片和第二滤光片,以及用于检测通过所述第一滤光片和所述第二滤光片的光的强度的光检测模块,能够实现加工过程中的终点检测功能,同时能够通过检测通过第二滤光片的光的强度是否与检测光源发出的光的强度一致来实现自检。

2021-09-28

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