给出了一种用于去除质量流量控制器的传感器组件中的死区体积的系统。所述系统包括可连通地连接到传感器组件的阀组件。该阀组件与主流动路径中的流体处于流体连通,并且该传感器组件与该主流动路径中的流体处于流体连通。该传感器组件包括具有第一贮存器的压力换能器和具有第二贮存器的另一压力换能器。该第一贮存器具有与采样流动路径中的流体处于流体连通的端口。该第二贮存器连接到第二压力换能器,并且通过流通路径流体地连接到该第一贮存器。该第二贮存器还包括另一端口,用于将流体流从该流通路径传送到另一流动路径。流速限流器布置在该流通路径中。