用于通过多个带电粒子细束来检查样品的带电粒子束装置。本发明涉及一种通过多个带电粒子细束来检查样品的方法。所述方法包括以下步骤：提供样品；提供多个带电粒子细束并将所述多个带电粒子细束聚焦到所述样品上；以及检测响应于所述多个带电粒子细束的所述辐照而从所述样品发出的辐射通量。此处,所述多个带电粒子细束聚焦到所述样品上成为细束图案,其中所述细束图案包括多个间隔开的细束光点,且其中所述细束光点在第一方向上间隔开且相邻细束光点之间的间隔构成细束间光点距离。如本文所定义,所述方法包括以下步骤：使所述细束图案在所述第一方向上移动且移动距离超过所述细束间光点距离而到达多个彼此不同的细束图案位置。通过检测相应的辐射通量,可以将一个或多个样品特征对应至所述样品。

本发明提供了一种镀锌板表面缺陷来源的分析方法,属于钢铁材料表面质量分析技术领域,所述分析方法包括：测量镀锌板表面缺陷区域的长度和宽度,获得长宽比；对所述缺陷区域进行取样,分别获得表面试样和截面试样；采用腐蚀溶液剥离所述表面试样的镀锌层,对所述截面试样进行清洗；观察所述表面试样和所述截面试样的微观形貌,并判断是否存在氧化物,根据所述氧化物成分初步判断缺陷成因；在热轧、酸洗和镀锌的入口均安装表检仪,当所述氧化物为氧化铁或氧化铁分解物时,通过所述表检仪追溯缺陷起源。该方法能够准确判定镀锌钢板表面多种类型缺陷的来源或成因,对于改善和提高镀锌板的表面质量起到重要作用。