本发明属于高纯四氟化锗产品质量检测技术领域,具体公开一种检测高纯四氟化锗中杂质含量的气相色谱系统及方法,包括通过管路相互连接的切换阀系统、载气系统、进样系统、柱系统、尾气处理系统、检测系统,切换阀系统为五个,载气设置6条,进样系统中的两个装样品的定量环连通,可同时完成两个定量环的进样,设置两套分离系统,即用不同的预柱和色谱柱将高纯四氟化锗的不同成分进行分离,分离主成分后杂质气体进入相应的检测系统进行检测,而主成分四氟化锗通过反吹方式,从各个尾气处理口排出,使用本发明的气相色谱系统,进样后控制反吹时间将主要组分四氟化锗利用双反吹+中心切割吹扫出去,提高了其中痕量杂质分析的检出限和结果的准确性。