本发明涉及一种微机械设备,具有衬底、可运动质量和止挡弹簧结构,该止挡弹簧结构具有止挡,其中,衬底具有平行于主延伸平面的衬底表面并且可运动质量相对于衬底可运动地布置在衬底表面上方,其中,止挡弹簧结构与可运动质量连接并且止挡构型成,在可运动质量沿z方向垂直于所述主延伸平面偏移时碰撞在所述衬底表面上。本发明的核心在于,止挡弹簧结构在止挡的位置处在z方向上具有第一弹簧常数Kz,在平行于主延伸平面的x方向上具有第二弹簧常数Kx,并且在平行于所述主延伸平面并且垂直于x方向的y方向上具有第三弹簧常数Ky,其中,所述第一弹簧常数Kz大于所述第二弹簧常数Kx和/或大于所述第三弹簧常数Ky。

本发明属于航空航天技术领域,具体公开了一种静电悬浮加速度计调制及偏置电压的加载系统及方法,加载系统包括偏置信号、检测高阻模块、电容、检测调制信号、双层屏蔽线、检验质量块,偏置信号从检测高阻模块的输入端进入；检测调制信号和电容的输入端连接；电容的输出端与检测高阻模块的输出端连接于信号混合点；双层屏蔽线连接检验质量块和信号混合点。本发明的静电悬浮加速度计调制及偏置电压的加载系统及方法,实现了偏置信号及检测调至信号的混合加载,抑制了外界噪声的干扰,同时防止偏置信号与检测调至信号的混合信号发生衰减,有益于空间非保守力检测灵敏度要求高的系统运用,例如基本物理学理论验证中的引力波探测、等效原理探测等领域。

本发明属于航空航天技术领域,具体公开了一种静电悬浮加速度计位置检测电路及系统,检测电路包括检验质量块、第一控制信号传输电路、第二控制信号传输电路、检测电路,检测电路中,电容C1的第一端与第一控制信号传输电路的输出端连接,电容C1的第二端与电阻R1的第一端连接；电容C2的第一端与第二控制信号传输电路的输出端连接,电容C2的第二端与电阻R2的第一端连接；电压器初级线圈的两端与电阻R1的第二端、电阻R2的第二端连接,电压器初级线圈的中间抽头接地；变压器次级线圈两端输出检测输出信号。本发明完成对检验质量块位置偏移量的检测,提供给后续电路进行相关处理,对于系统信噪比的提高、系统性能及相关功能的完成都有重要的意义。