本发明公开了一种基于PT对称谐振器的微机械加速度计及其检测方法,其中,PT对称谐振器由两个质量、刚度完全相同的谐振器组成,两个谐振器通过机械耦合结构连接；闭环自激驱动电路连接在两个谐振器之间,用于实现PT对称谐振器的自驱动并调节谐振器的阻尼。检测方法利用待测加速度对PT对称谐振器产生刚度微扰,进而改变PT对称谐振器的谐振频率,通过测量谐振频率分裂量即可实现对未知加速度的测量。本发明可以实现对微弱加速度的测量,同时大大提升了测量灵敏度。

本发明公开了一种变压器振动监测用光纤光栅加速度传感系统,包括光纤光栅加速度传感器,及波长解调系统；所述光纤光栅加速度传感器包括基座结构、磁片、外壳、调节孔、质量块、调节柱、弹性膜片、增敏放大构件、光纤光栅；所述波长解调系统包括宽带光源、光纤环形器、波分复用器、光纤耦合器、静态波长解调模块、波分解复用器、动态波长解调模块；该变压器振动监测用光纤光栅加速度传感系统具有结构简单、高灵敏度大带宽、低交叉灵敏度、可同时测量温度和振动、易于布放等特征的,对实时获取变压器振动波谱,监测变压器运行情况具有非常重要的意义,在变压器在线监测领域具有广泛的应用前景。

本发明公开了一种集成摆式石英谐振加速度计结构,包括安装基座、外壳、挠性质量块、上隔离限位板、下隔离限位板、谐振电路、谐振梁以及接线柱；安装基座和外壳相互配合,构成一个安装腔室；上隔离限位板、挠性质量块、下隔离限位板均位于所述安装腔室内,且自上而下设置；下隔离限位板的与安装基座之间安装谐振电路；挠性质量块的上下表面均开设有安装谐振梁的谐振梁安装槽；接线柱自下而上穿过安装基座,并与谐振电路接触之后再穿过下隔离限位板后分别与两个谐振梁的金丝连接。本发明的加速度计具有结构紧凑、精度高、可靠性高、密封性好等优点。

本发明提出了一种基于差分演化算法的静电刚度谐振式加速度计设计方法,实现步骤为：定义目标函数及差分演化算法相关参数；编码与差分演化算法种群初始化；对初始化种群进行差分变异操作、交叉操作、选择操作；满足终止条件得到确定性最优解；确定性最优解进行健壮性优化输出健壮性最优解。本发明兼顾微机电系统加速度计的其他性能指标,在加速度计关键参数取值范围内寻求标度因数最优解,在设计静电刚度谐振式加速度计结构的过程中,采用差分演化算法框架对其结构尺寸进行优化设计。在选择操作之前对超出约束范围的解设计了惩罚函数并对确定性最优解进行了健壮性优化,设计出具有标度因数健壮性的静电刚度谐振式加速度计结构。

本发明涉及一种基于短接贴片天线的结构加速度检测装置,用于检测待测结构的结构加速度,包括加速度传感器、阅读器、发射天线和数据终端,所述的加速度传感器包括封装板、弹性组件和辐射单元,所述的辐射单元包括辐射贴片、芯片和短接贴片,所述的辐射贴片通过基板固定在封装板上,所述的芯片固定在辐射贴片上,所述的短接贴片一侧与弹性组件连接,另一侧紧贴辐射贴片,检测时加速度传感器固定在待测结构上,所述的阅读器通过发射天线收发信号,提取辐射单元的谐振频率,所述的数据终端根据谐振频率计算得到待测结构的结构加速度。与现有技术相比,本发明具有布设简单、成本低、适用性强、可靠性高和使用寿命长等优点。

本发明公开了一种低温度敏感性谐振式加速度计结构,包括硅结构层,硅结构层包括敏感质量块、一级杠杆放大机构、方向限定机构、两个双端固定音叉谐振器,两个双端固定音叉谐振器紧邻布置,每个双端固定音叉谐振器的一端均通过一个方向限定机构与一个一级杠杆放大机构,另一端通过一个方向限定机构与一个谐振器锚点连接,敏感质量块通过支撑折叠梁与固定框架,在每个两个固定框架之间设置有整体结构锚点。连接两个双端固定音叉谐振器的一级杠杆放大机构为两类不同形式且对称布置,形成加速度计的差分输出。本发明能够消除加速度信号的交叉敏感性,降低甚至消除工作温度变化引起的加速度计频率漂移,提升加速度计的温度性能。