采用磁敏装置
一种基于量子效应的高灵敏加速度探测器
本发明涉及加速度探测领域,具体提供了一种基于量子效应的高灵敏加速度探测器,本发明提供了一种基于量子效应的高灵敏加速度探测器。本发明中,钉扎层、势垒层、自由层构成磁隧道结。应用时,在加速度的作用下,质量块压缩自由层;同时,应用固定磁场作用于本发明。通过测量在加速度作用下和未在加速度作用下,磁隧道结磁电阻的差异,确定待测加速度。在本发明中,质量块改变了自由层内部的应力,改变了势垒层中产生的量子隧穿,从而改变了磁隧道结的磁电阻。因为自由层的磁性或自旋严重地依赖于其内部的应力,所以本发明具有加速度探测灵敏度高的优点。另外,本发明是基于传统电学的,信号处理简单,器件尺寸小。

2021-10-15

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