物理量传感器、电子设备以及移动体

本申请涉及物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器具有：可动体,绕摆动轴摆动；以及检测电极,与可动体相对配置。基板具有第一区域至第m区域,检测电极跨第一区域至第n区域而配置。当设定了连接检测电极在第一区域至第n区域各区域上的端部中的两个端部的虚拟直线中与X轴方向所成的角最小的第一虚拟直线以及在可动体绕摆动轴进行了最大位移的状态下沿可动体在基板一侧的主面的第二虚拟直线时,在与第一区域的端部相交且在Z轴方向上延伸的第一法线和与第n区域的端部相交且在Z轴方向上延伸的第二法线之间的区域中,第一虚拟直线与第二虚拟直线不交叉。

2021-10-29

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加速度检测装置、检测系统、电子设备和加速度检测方法

本申请公开了一种加速度检测装置、检测系统、电子设备和加速度检测方法,属于加速度检测技术领域。其中,加速度检测装置包括：检测臂,包括固定段、形变段和摆动段,固定段的第一端通过形变段与摆动段的第一端连接,摆动段通过形变段的形变相对固定段摆动；质量块,设置于摆动段的第二端,质量块在惯性作用下相对固定段运动,以带动摆动段相对固定段摆动；形变检测模块,设置于形变段,形变检测模块随形变段的形变而发生形变；温度补偿模块,设置于固定段和摆动段中的至少一者,温度补偿模块随温度变化而发生形变,温度补偿模块的温度形变系数与形变检测模块的温度形变系数相同,以补偿形变检测模块因温度变化所致的形变量。

2021-10-29

访问量：33

一种静电调谐分离式微机电加速度计及其闭环控制方法

本发明公开了一种静电调谐分离式微机电加速度计及其闭环控制方法,该加速度计包括至少一个敏感质量块、至少一对差分谐振器、驱动模块和检测模块；所述谐振器与敏感质量块非接触式连接,每个差分谐振器的两侧分别设置对应的驱动模块和检测模块,并与差分谐振器之间非接触式连接。所述加速度计控制方案包含两套闭环回路,其中所述差分谐振器受闭环驱动控制实现自激振荡,所述敏感质量块受电压反馈回路使得敏感质量块在加速度输入下不发生偏移。本发明避免多源应力互相传递干扰和电路噪声干扰,提高系统精度和稳定性,且本发明工作于该控制模式下输出与加速度成线性关系,实现了高精度、高稳定性、环境依赖性小和结构设计便利的要求。

2021-10-26

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惯性传感器、电子设备以及移动体

本发明提供惯性传感器、电子设备以及移动体,惯性传感器(1)具备基板(20)；固定电极(24、25),配置于基板；元件部(30),包括可动体(31),该可动体能够相对于固定电极位移,并在第一部分(42)和与固定电极相对的第二部分(43)上具有电极；突起(23),限制可动体的位移量,并在与可动体的第一部分对置的部分上具有检测电极(27)；驱动电路(68),向元件部输出驱动信号；接触检测电路(80),通过可动体的第一部分的电极与突起的检测电极接触而输出检测信号；自诊断电路,当从接触检测电路接收到检测信号时,向元件部输出测试信号；以及判定电路,判定元件部接收到测试信号后输出的信号的电平是否超过了阈值。

2021-10-22

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一种基于PT对称谐振器的微机械加速度计及其检测方法

本发明公开了一种基于PT对称谐振器的微机械加速度计及其检测方法,其中,PT对称谐振器由两个质量、刚度完全相同的谐振器组成,两个谐振器通过机械耦合结构连接；闭环自激驱动电路连接在两个谐振器之间,用于实现PT对称谐振器的自驱动并调节谐振器的阻尼。检测方法利用待测加速度对PT对称谐振器产生刚度微扰,进而改变PT对称谐振器的谐振频率,通过测量谐振频率分裂量即可实现对未知加速度的测量。本发明可以实现对微弱加速度的测量,同时大大提升了测量灵敏度。

2021-10-19

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一种高g值、高灵敏度MEMS加速度传感器及其制备方法

本发明公开了一种高g值、高灵敏度MEMS加速度传感器,属于一种MEMS加速度传感器,包括衬底、器件层和盖板,所述衬底和所述盖板分别从所述器件层的两侧键合所述器件层,所述器件层包括外框、质量块和四个支撑梁,所述质量块和四个所述支撑梁位于所述外框的内部；本发明通过采用4个T型结构支撑梁连接质量块的设计方案,创新性的设计了x、y、z三个轴向的止挡结构,传感器采用了盖板-器件层-衬底的三明治封装结构,易于实现批量晶圆级封装；通过支撑梁采用双E型结构设计,极大提高了器件输出灵敏度；优化了器件层与盖板、衬底之间的压膜阻尼,提升了传感器整体动态性能,延长了器件工作寿命。

2021-10-15

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直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法

本发明涉及一种直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法,该直线驱动装置包括定组件、动组件、第一力传感器和第二力传感器。动组件可活动地连接于定组件的一端,且动组件能够沿靠近或远离定组件的方向移动。第一力传感器设于定组件远离动组件的一端,以用于检测由定组件朝向动组件作用于第一力传感器的作用力。第二力传感器设于动组件远离定组件的一端,以用于检测由动组件朝向定组件作用于第二力传感器的作用力。本发明提供的直线驱动装置消除了直线驱动装置在动态响应过程中存在的误差,从而有利于直线驱动装置运动过程的精确控制。

2021-10-08

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直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法

本发明涉及一种直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法,该直线驱动装置包括定组件、动组件、第一力传感器和第二力传感器。动组件可活动地连接于定组件的一端,且动组件能够沿靠近或远离定组件的方向移动。第一力传感器设于定组件远离动组件的一端,以用于检测由定组件朝向动组件作用于第一力传感器的作用力。第二力传感器设于动组件远离定组件的一端,以用于检测由动组件朝向定组件作用于第二力传感器的作用力。本发明提供的直线驱动装置消除了直线驱动装置在动态响应过程中存在的误差,从而有利于直线驱动装置运动过程的精确控制。

2021-10-08

访问量：35

带惯性环境补偿功能的机器人用触觉传感器及其制作方法

本发明公开了一种具有提高复杂运动环境下检测效果的触觉传感器结构。本发明包括力检测单元和加速度检测单元。所述力检测单元是三轴触觉传感单元,包括力传导部分与力检测部分；所述加速度检测单元是实现了三轴加速度检测的常用结构,用于进行惯性环境补偿。本发明通过在触觉传感部分周围原位集成加速度计,提高了动态检测性能,提升了在复杂运动环境下力检测的准确度。

2021-09-24

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MEMS加速度计及其信号处理方法

本发明涉及MEMS加速度计,包括：第一衬底；检验质量块,弹性连接在所述第一衬底上,且能与所述第一衬底产生相对位移,所述检验质量块包括相对的第一侧、第三侧,以及相对的第二侧、第四侧,所述第一侧、所述第二侧、所述第三侧和所述第四侧均设有两个移动梳齿；固定梳,固定设置于所述第一衬底上,所述固定梳包括固定梳齿和框架,所述固定梳齿与所述移动梳齿一一对应设置；每个所述固定梳齿和最近的所述移动梳齿组成感测梳,所述感测梳的梳齿方向均垂直于所述加速度计的运动方向。本发明能够在不改变传感器设计和信号处理方案的情况下,实时选择四个加速度量程之一的信号,测量精度高、制造成本低。

2021-09-21

访问量：33