本申请涉及一种扫描探针显微镜系统,包括探针架、主机探头、音叉型传感探针、主机底座、测控装置以及光学显微镜系统。主机探头包括探针架安装位。探针架被配置为安装于探针架安装位。音叉型传感探针的针尖与音叉型传感探针的音叉垂直。音叉型传感探针被配置为安装于探针架时,主机探头与音叉型传感探针之间具有一个容置区。主机底座被配置为支撑主机探头,并与主机探头信号连接。测控装置与主机底座信号连接。工作时,光学显微镜系统部分置于容置区。光学显微镜系统与测控装置信号连接。本申请基于音叉型自感应型探针设计了可与光学显微镜系统的联用扫描探针显微镜系统。

本揭露公开一种原子探针层析成像试样的元件,以及针对制备原子探针层析成像(atom probe tomography,APT)试样的技术。所揭示技术直接在晶圆上的DUT区域上形成APT试样或样本。APT试样与基板或在APT试样之下的支撑结构(例如,载体)整体地形成。进行激光图案化以形成DUT中的沟槽及在沟槽中的一或更多个凸块结构。激光图案化相对粗糙且在凸块结构中的每一者上形成粗糙的表面纹理。接着进行使用双束聚焦离子束(FIB)显微镜的低kV气体离子铣削,以使凸块结构成形为APT试样。

本发明提供扫描型探针显微镜以及设定方法。提供有助于测定时间的缩短的扫描型探针显微镜以及设定方法。扫描型探针显微镜具备：移动驱动部,其使所述悬臂与所述试样至少能够在Z方向上相对地进行移动；以及控制装置,其通过对所述移动驱动部进行控制而执行使所述悬臂与所述试样以规定的速度接近的接近动作,并在判定为所述探针和所述试样已接触的情况下,使所述接近动作停止,所述规定的速度被设定为,在执行了使所述接近动作停止的控制时,因所述探针与所述试样的接触而对所述试样施加的力不超过预先设定的第1力。

本申请涉及一种扫描探针显微镜系统包括多个探针架、主机探头、主机底座以及测控装置。每一个探针架被配置为安装一个传感探针。主机探头包括前置电路和定位导槽。定位导槽被配置为可拆卸的安装多个探针架。探针架与前置电路电气连接。主机底座被配置为支撑主机探头,并与传感探针信号连接。测控装置与主机底座信号连接。使用时,选择其中的一个探针架安装在主机探头的定位导槽中,测控装置通过主机底座与相应的传感探针实现信号交互,以使得扫描探针显微镜系统可以实现任意测量成像功能即选即用,实现了多种传感探针的兼容使用。

本发明公开了一种嵌套式扫描探针显微镜,包括壳体,还包括沿一轴向依次同轴套设的步进马达、绝缘管、绝缘配重框以及扫描头；步进马达安装于壳体内壁,绝缘管周向设置于步进马达内壁上；绝缘配重框的外壁与绝缘管之间设有弹性件,绝缘配重框通过弹性件受力与绝缘管内壁滑动配合；扫描头安装于绝缘配重框上且具有一测试端,测试端包括用于扫描样品的探针；步进马达用以驱动绝缘配重框及扫描头沿轴向步进。该嵌套式扫描探针显微镜能够实现结构紧凑、体积小、空间利用率高的效果,且具有抗干扰、高度对称性特点,能够减少温度变化引起的热漂移,提高扫描成像的质量。