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多个类型SPM，即包括两种或更多种SPM技术
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技术分类
其他类目不包括的扫描探针技术或设备
不同于SPM的扫描探针技术的应用
功能化
探针制造
特殊的材料
纳米管状尖端
形状或锥度
探针特征
探针尖端阵列
带有由温度或振动引起的误差的补偿
探针支撑物
SPM探针的一般方面，其制造或有关的使用仪器，它们不专门适用于包括在大组G01Q60/00中的单独的SPM技术
SECM或其设备，例如SECM探针
SThM或其设备，例如SThM探针
磁性镀膜的探针
探针，其制造或有关的使用仪器，例如，支撑物
共振
MFM或其设备，例如MFM探针
探针，其制造或有关的使用仪器，例如支撑物
SCM或其设备，例如SCM探针
SICM或其设备，例如SICM探针
功能化
导电探针
探针，其制造或有关的使用仪器，例如支撑物
直流模式
轻敲模式
交流模式
扫描电势显微术
附着力显微术
摩擦力显微术
AFM或其设备，例如AFM探针
探针，其制造或有关的使用仪器，例如支撑物
荧光
SNOM或其设备，例如，SNOM探针
探针，其制造或有关的使用仪器，例如支撑物
STP
STS
STM或其设备，例如STM探针
与AFM结合的MFM
与AFM结合的SNOM
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