SNOM或其设备,例如,SNOM探针
扫描探针显微镜以及扫描探针显微镜的光轴调整方法
本发明提供一种扫描探针显微镜以及扫描探针显微镜的光轴调整方法,防止激光的漫反射对扫描探针显微镜的激光的光轴调整的处理造成不好的影响。在基于摄像部拍摄到的图像确定出的激光的光斑的位置在使激光进行了移动的情况下预测出的方向上进行了移动的情况下,扫描探针显微镜的控制装置将确定出的光斑的位置作为初始位置。控制装置基于摄像部拍摄到的图像来确定发生漫反射的位置,以避开发生漫反射的位置的方式使光斑从初始位置移动到悬臂的顶端。

2021-10-01

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