本探针的制造方法是在表面具有被覆层(104)的探针(101)的制造方法,采用气相法对于顶端部(103a)尖锐的基材(103)的表面形成被覆层(104)。

本发明公开了一种用于微波测试的探针,属于微波测试技术领域。该微波探针包括微波集成电路芯片和显微镜探针两部分。微波集成电路芯片,包括输入电路、缓冲电路、放大电路和输出电路。显微镜探针,包括基底、电极片、悬臂梁、金属通路和针尖。本微波探针用于微波测试时,输入的微波信号经过微波集成电路输出到显微镜探针,经针尖辐射,减少了微波的辐射消耗,提高了微波测试的效率,适用于样品表征的测试,同时该探针结构便于微波信号的加载。