本公开提供了一种镀膜探针的圆片级制备方法及镀膜探针,制备方法包括：在圆片级的衬底上形成针尖图形掩膜和补偿结构图形掩膜；形成针尖原胚结构和补偿结构；锐化针尖；背面各向异性深刻蚀体硅层；正面刻蚀埋氧层的裸露区域及体硅层；去除正面深刻蚀掩膜层和背面深刻蚀掩膜层,形成基座和悬臂梁；在针尖的表面镀膜,形成镀膜针尖,完成镀膜探针的圆片级制备。采用该种制备方法,实现了探针的可靠制备,该方法操作简单、可靠；通过优化薄膜沉积条件,实现三维结构中不同功能薄膜材料的保形沉积,可广泛应用于原子探针、纳米针尖阵列等的制作中。

本发明涉及一种扫描隧道显微镜针尖处理装置,该装置包括真空腔体、外接电源和位于真空腔体内部的退火组件。真空腔体包括视窗法兰、带有电路接线端子的法兰、泵组及其接口法兰、真空规及其接口法兰、控制内部退火钨丝移动的驱动装置和控制内部样品台位置的驱动装置；退火组件包括钨丝、固定钨丝的支撑杆、针托样品架和样品台。该针尖处理装置能够实现在真空条件下对扫描隧道显微镜的针尖进行退火,可以有效热解和脱附针尖表面的氧化层和污染物,从而在真空腔体内部直接获得导电性质良好、工作状态稳定的金属针尖。