本发明公开了一种双远心曝光镜头,从物方到像方包括依次设置的前透镜组、光阑和后透镜组；前透镜组从物方到像方包括依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜,其中,第一透镜为双凸透镜,第二透镜为厚弯月透镜,第三透镜为厚弯月透镜,第四透镜为弯月透镜,第五透镜为凸透镜,第六透镜为凹透镜；后透镜组从物方到像方包括依次设置的第七透镜和第八透镜,第七透镜为弯月透镜,第八透镜为双凸透镜。本发明双远心曝光镜头,具有物象远心度小,像方和物方的远心度均在0.8mrad以内,畸变小,透过率高,大景深等优势,物距和像距均>150mm,方便加工操作；且所需镜片少,结构简单,成本低,镜头整体透过率高。

本发明涉及一种应用于投影光刻机的大视场投影曝光物镜系统,其作用是把投影光刻机掩模版上的图形经过成像复制后转移到硅片上。本发明所涉及的大视场投影曝光物镜系统由20片透镜组成,物镜系统分辨力700nm,放大倍率为-0.25倍,曝光视场44mm×44mm。本投影曝光物镜系统共轭距(物方到像方)为L＝740mm,系统结构紧凑；同时,选用对i线(365nm)透过率较高的玻璃材料,提高系统光学透过率,采用球面校正系统场曲、畸变和波像差,满足大视场投影光刻机的高精度及高产率需求。

本发明提供一种成像光学系统和检测装置,包括沿光轴顺次设置的物面、具有正光焦度的第一透镜、具有正光焦度的第二透镜、具有负光焦度的第三透镜、具有负光焦度的第四透镜、具有正光焦度的第五透镜、具有正光焦度的第六透镜、具有负光焦度的第七透镜、具有正光焦度的第八透镜及具有正光焦度的第九透镜。本发明提供的成像光学系统,结构简单紧凑,成本低,且具有较好的成像质量,满足掩模颗粒检测装置的光学设计需求。

本发明公开一种光学系统和激光雷达。根据本发明的一实施例的光学系统总共具有五个具有屈光力的透镜,且从第一侧到第二侧依次设置有第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜,第一透镜具有正屈光力,其第一侧面为凸面,第二侧面为凹面；第二透镜具有正屈光力,其第一侧面为凸面,第二侧面为凹面；第三透镜具有负屈光力,其第一侧面为凹面,第二侧面为凹面；第四透镜具有正屈光力,其第一侧面为凸面,第二侧面为凹面；第五透镜具有正屈光力,其第一侧面为凸面,第二侧面为凹面；其中,光学系统使从第二侧入射的发散的激光准直后从第一侧发出。

本发明提供一种远心光学系统和远心镜头,所述远心光学系统包括按照特定的光学间隔,从物侧向像侧沿所述远心光学系统的主光轴依次设置的第一透镜组和第二透镜组；其中,所述第二透镜组从物侧向像侧依次包括液态透镜、第一胶合透镜及第一透镜,通过控制所述液态透镜的驱动电压或驱动电流来调整所述远心光学系统的对焦位置,以完成所述远心光学系统的在不同工作距离下的对焦。利用本发明的技术方案,拓展了远心镜头的应用限制,使得视觉检测方案整体硬件成本和工作效率有了显著提升。

一种光谱仪光路,用于处理经过光谱仪光纤调制后的被测物体表面反射的反射光,其包括依次设置的第一透镜组、色散组件以及第二透镜组,其中,所述第一透镜组用于所述反射光的平行,所述色散组件用于所述反射光的色散,所述第二透镜组用于色散后的所述反射光聚焦,并消除所述反射光色差；且经由所述第一透镜组焦距f1和所述第二透镜组焦距f2配合进行所述光谱仪像方与所述光谱仪物方的缩放倍率控制,所述光谱仪像方为所述光谱仪光纤出光端的光纤阵列,所述光谱仪像方为相机上采集的光谱图像。一种光谱仪光路可有效保证了探测器上各个通道的光亮度一致性。

本发明公开了一种双远心镜头,属于光学设计技术领域,其特征在于,包括光学放大组、孔径光阑和成像组；光学放大组由五片透镜组成,其中；所述第一片透镜为双凸透镜,第二片透镜为双凹透镜,第三片透镜为双凹透镜,第四片透镜为凹凸透镜,第五片透镜为凹透镜；所述第四片透镜和第五片透镜胶合为第一胶合组；孔径光阑位于光学放大组和成像组之间；成像组由五片透镜组成,其中：所述第六片透镜为凹透镜,第七片透镜为凸凹透镜,第八片透镜为双凸透镜,第九片透镜为凸凹透镜,第十片透镜为双凹透镜,所述第六片透镜和第七片透镜胶合为第二胶合组。本发明在保证大倍率的情况下,提高镜头的分辨率和对比度,以及减小镜头的远心度和畸变率。

本申请实施例公开了一种光学镜头和摄像设备。所述光学镜头包括沿从光线输入侧指向光线输出侧的光轴方向依次设置的第一镜片组和第二镜片组；所述第一镜片组包括沿所述光轴方向依次设置的六镜片,所述第一镜片组的六镜片的通光口径处于325毫米至10毫米的范围内,沿所述光轴方向,所述第一镜片组的六镜片的通光口径逐渐减小；所述第二镜片组包括沿所述光轴方向依次设置的七镜片,所述第二镜片组的七镜片的通光口径处于14毫米至35毫米的范围内。本申请实施例所提供的光学镜头和摄像设备能满足大视场成像的要求。

本发明公开了一种色散物镜光路,包括沿物方至像方依次排列的第一透镜组和第二透镜组,所述第一透镜组用于控制物方远心并对光纤阵列投射的调制侦测光进行初步色散,所述第二透镜组用于控制像方远心并对所述调制侦测光进行二次色散,且经由所述第一透镜组的长焦距与所述第二透镜组的短焦距配合用于所述物方至所述像方缩放控制,其中,所述物方/像方缩放倍率＝f1/f2,f1为所述第一透镜组的焦距,f2为所述第二透镜组的焦距,所述物方为光纤阵列,所述像方为所述色散物镜光路投射的线长。本发明所示色散物镜光路使用双远心光路产生色散的同时,还可有效保证投射到被测物上的测量光斑亮度和精度一致性。