本发明提供一种可定量调控压电陶瓷圆管表面预应力的纤维缠绕方法,包括表面预应力的分解和计算,缠绕部件的组装与调整,压电陶瓷圆管性能的测量、计算和比较,缠绕完成的固定机制。本发明可以利用纤维胶带重复进行缠绕,实现压电陶瓷圆管表面预应力的定量调控,具备成本低、方法简单、调控准确、适用范围大等优势。

本发明涉及一种柔性压力传感器及其制备方法。所述柔性压力传感器包括a)基底；b)经由铬或钛涂层附着在所述基底上的叉指电极；和c)在所述叉指电极上的发泡的热塑性聚氨酯-碳复合片材,其包含热塑性聚氨酯树脂与导电碳材料。本发明的柔性压力传感器具有良好的柔性、高弹性和压敏特性,并且其稳定性好。同时制备本发明的柔性压力传感器的工艺简单,成本低。

本发明涉及一种可降解压电能量收集器及其制备方法,该制备方法包括,在基底上生长压电生物材料阵列；在基底上制备可降解膜,以使可降解膜包覆压电生物材料阵列；将包覆压电生物材料阵列的可降解膜从基底上剥离,得到可降解压电层；制备两个可降解电极,可降解电极包括层叠设置的可降解衬底层和金属层；将可降解压电层放置在两个可降解电极之间,粘合形成可降解压电能量收集器,金属层位于靠近可降解压电层的一侧。本发明的制备方法,将具有单一生长方向和极化方向的压电生物材料阵列从硬质基底上剥离,使用可降解和生物相容的材料作为可降解压电能量收集器的电极和封装材料,制备得到的压电能量收集器具有可降解性和生物相容性。

本发明公开了一种吸震式晶体振子封装结构,其包括一封装基座、一谐振晶体片与一顶盖。封装基座的顶部具有一凹槽,封装基座的侧壁环绕凹槽。谐振晶体片具有一边框区、至少一个蜿蜒式连接区与一谐振区,蜿蜒式连接区连接谐振区的边缘与边框区之间,边框区设于侧壁上。顶盖设于边框区上,以遮蔽凹槽、蜿蜒式连接区与谐振区。本发明形成蜿蜒式连接区在边框区与谐振区之间,以避免外界机械性震动或瞬间冲击传递至谐振晶体片,并稳定谐振频率。

能够通过在衬底上方形成例如钼层的金属层而提供一种微结构。在金属层的顶部表面上形成氮化铝层。通过氧化将氮化铝层的表面部分转化成连续含氧化铝层。能够在连续含氧化铝层上方形成介电间隔物层。能够使用刻蚀工艺来形成延伸穿过介电间隔物层、连续含氧化铝层以及氮化铝层以及向下延伸到至少一个金属层的相应部分的接触通孔腔,所述刻蚀工艺含有湿式刻蚀步骤同时抑制在氮化铝层中形成底切。能够在接触通孔腔中形成接触通孔结构。微结构能够包含含有压电换能器的微机电系统(MEMS)器件。