本发明公开了一种制备压电复合薄膜的方法及压电复合薄膜,在具有衬底层的原始压电复合薄膜内,通过离子注入法将离子注入到衬底层的表面区域,使得离子破坏衬底层表面处的晶格结构,造成一定的损伤进而形成损伤层,之后再对包含损伤层在内的原始压电复合薄膜进行低温退火处理,获得目标压电复合薄膜。本发明的方案可以在制备好整体的原始压电复合薄膜之后,通过离子注入法形成损伤层,再利用损伤层捕获衬底层与低声阻层之间的电荷,避免采用当前常用的方法,使得后形成低声阻层时对先生成的损伤层造成影响,本发明的方案能够保证损伤层捕获电荷的能力。