压电驱动部(120)由多个层构成,直接或间接支承于基部(110)。压电驱动部(120)包含压电体层(130)、上部电极层(140)以及下部电极层(150)。上部电极层(140)配置于压电体层(130)的上侧。下部电极层(150)以夹着压电体层(130)而与上部电极层(140)的至少局部相对的方式配置。在压电驱动部(120)中,通过设有沿着上下方向贯通的贯通槽(121)而形成一对内侧面(122)。一对内侧面(122)分别包含贯通槽(121)的宽度从压电体层(130)的上端面(131)朝向下方逐渐变窄的第1窄幅部(123)。

本发明涉及一种柔性透明机电耦合功能膜的制备方法,包括：通过聚合物树脂制备聚合物薄膜；采用网状模具,通过加压的方式,在预设的温度和压力下,经过一段时间将所述聚合物薄膜塑化并获得独特的一次微观结构；通过极化方式使得聚合物薄膜带电,并控制聚合物薄膜电荷稳定；将多个聚合物薄膜粘合,得到复合的聚合物薄膜即获得二次微观结构,对复合的聚合物薄膜的双面镀电极。与现有技术相比,本发明工艺过程简单,构思新颖,不仅能制备可控微结构的机电耦合功能膜,而且能够制备出具有高压电活性的机电耦合功能薄膜。