本发明的多模谐振器包括：外壳,设置有实际上相当于一个收容空间的空腔；多个谐振臂,相互之间以预先设定的间隔配置于上述空腔的内部,借助相互之间的复合耦合来产生谐振信号；以及多个谐振支架,用于分别支撑上述多个谐振臂。

一种机电马达(1)包括定子(2)和平移体(10)。定子具有两个机电致动器(20),这些机电致动器具有机电活性材料(26)和用于提供激励信号的装置(35)。平移体布置在机电致动器的驱动部分(22)之间并且与其驱动接触。定子具有被布置成使驱动部分保持抵靠平移体的弹簧元件(30)。机电致动器被布置成提供振动,该振动对平移体的表面引起驱动动作,该驱动动作指向垂直于法向力的方向的驱动方向(X)。机电马达进一步包括具有圆孔(52)的导引装置(50)。平移体具有至少部分地布置在圆孔中的圆柱形的导引部分(16)。还披露了一种包括这种马达的可调谐高频滤波器。

本发明实施例提供了一种量子芯片的制备方法、装置、设备及量子芯片。方法包括：获取量子芯片所包括的共面波导；利用键合机在共面波导上建立连接桥,连接桥用于连接位于共面波导两侧的第一参考地与第二参考地,以改变芯片电磁共振频率。本实施例提供的技术方案,通过获取量子芯片所包括的共面波导,并利用键合机在共面波导上建立连接桥。量子芯片的芯片电磁共振频率主要受电容和电感影响,通过连接桥将共面波导两侧的参考地进行连接,有效地改变了电容和电感,从而改变了量子芯片的芯片电磁共振频率,实现了通过连接桥可以消除或者降低芯片电磁共振对量子芯片的影响,有利于保证并提升量子芯片的性能。