本发明涉及光学元件的技术领域,更具体地,涉及一种超小模体积回音壁模式微腔器件,包括用于产生回音壁模式的微盘腔以及用于抑制微盘腔弯曲损耗的同心环,若干所述同心环设于所述微盘腔的外周且若干所述同心环与所述微盘腔同心设置。本发明的超小模体积回音壁模式微腔器件,利用微盘腔周围的同心环抑制了亚波长尺寸的微盘腔所带来的弯曲损耗,提高品质因子；且本发明的微腔器件包括微盘腔和同心环,制作简单,可在芯片集成方面具有广泛的应用。

本发明提供了一种多波长集成单模激光种子源,包括：一个集成温控的旋转平台；多个激光器管芯,每个激光器管芯分别具有不同的增益谱峰值；一个光纤分束器,包括：输入端的一支输入光纤和输出端的多支光纤光栅,其中,输入光纤固定于与激光器管芯耦合的最佳位置处,多支光纤光栅同时接收与输入光纤耦合的激光器管芯输出的激光；其中,每支光纤光栅分别具有与每个激光器管芯增益谱峰值对应的光栅反射谱,能够对相应的激光器管芯进行选模,从而实现特定波长的单模激光输出。

一种表面浅刻蚀结构垂直腔面发射激光器,包括由下至上依次设置的GaAs基衬底、下层DBR、有源区、氧化限制层、上层DBR和P型金属欧姆接触层；有源区、氧化限制层、上层DBR和P型金欧姆接触层共刻出圆柱形垂直腔面发射激光器谐振腔；垂直腔面发射激光器的顶部镀有圆环形P型金属电极,垂直腔面发射激光器谐振腔的GaAs基衬底下面镀有N型金属电极；垂直腔面发射激光器的谐振腔由二氧化硅绝缘层包覆,二氧化硅绝缘层通过光刻、湿法腐蚀开电极窗口,二氧化硅绝缘层通过磁控溅射生长P型金属Pad电极。本发明利用表面浅刻蚀结构,在垂直腔面发射激光器高阶模出射位置增加高阶模的损耗,提高高阶模的阈值增益,实现单模输出。

本发明公开了一种用于激光相干合成的全数字式锁相控制器,参数调节模块用于输入激光相干合成技术参数和计算模式,数据处理模块基于参数调节模块中的激光相干合成技术参数和计算模式进行计算得到光强信号计算结果；光电反馈模块根据光强信号计算结果向数据处理模块进行效果反馈；数据处理模块根据效果反馈和光强信号计算结果进行相位补偿计算,并通过补偿输出模块输出相位补偿计算结果；事先写入基于多种全数字式锁相技术的计算模式,用户可依真实场景自行选择计算模式,并在计算过程中可以及时调节参数来更好的实现相干合成锁相控制。

本发明公开了一种基于单个回音壁模式光学微腔的单模微激光器及实现方法,包括制备所需的掺杂稀土离子或含有量子点等增益材料的单个回音壁模式光学微腔,光学微腔的构型包括微盘腔、环形微腔、跑道形微腔；材料种类包括铌酸锂、二氧化硅、氮化硅等；制备所需尺寸、能激发光学微腔高阶模的光纤锥或光波导,包括脊型波导、圆形波导等；将光纤锥或光波导与微腔耦合、集成、封装。将泵浦光耦合到光纤锥或光波导,激发由光学微腔的基模和高阶模叠加而成的、具有多边形结构的复合模式,而且比基纵模具有高的品质因子。使得泵浦光和激射光分别与所述的复合模式共振,获得低阈值、窄线宽的单模激射。

本发明公开了一种亚波长光栅及垂直腔面发射激光器。其中,亚波长光栅包括：氧化铟锡形成的基底层(2)；以及非晶硅或砷化铝镓形成的光栅层(1),所述光栅层形成于所述基底层(2)上。基于以氧化铟锡形成的基底层(2)的亚波长光栅作为P面反射镜的垂直腔面发射激光器,包括发光器件；以及亚波长光栅,所述亚波长光栅设置在所述发光器件的P型掺杂层的上(4)。其中的发光器件,包括：由下至上依此层叠的衬底(8)、N型掺杂层(7)以及支撑台(10)；所述衬底的底面设置有下电极(9)。

本发明提供一种外腔窄线宽激光器,包括热沉、芯片、电极、耦合透镜、多模干涉波导结构以及反射结构,热沉上端面形成有一沿左右向延展的安装区；芯片设于所述安装区内；电极设于所述芯片的上方；耦合透镜设于所述安装区内,并位于所述芯片的右侧；多模干涉波导结构包括若干个单模波导和若干个多模波导,若干个所述单模波导和若干个所述多模波导沿光轴依次交替设于所述安装区内,并位于所述耦合透镜的右侧；反射结构设于所述安装区内,并位于所述多模干涉波导结构的右侧。其中芯片提供光增益,多模干涉级联外腔与反射镜组成外腔反馈系统,起到选模和压窄线宽的作用,可以实现单模输出并且压窄线宽。