本发明公开了一种提高深凹底型件贴模精度的刚柔复合成形装置及方法。以解决液压成形过程中悬空区域的板料“聚料”导致零件凹陷深处贴模精度差、成形质量不高的技术问题。该装置包括凸模、压边圈、凹模、液压室和背压模,其中背压连杆连通液压室底端侧壁上下滑动,背压冲头与液压室底部设有氟橡胶密封圈。成形过程中背压模向下紧压住氟橡胶密封圈,板料先进行前期预胀,随后凸模开始下行到一定深度(h1)时停止运动,待液压室腔内的液体介质撤出后,背压连杆缓慢上升移动直至坯料与凸模完全贴模,成形结束。本发明将柔性充液拉深和传统刚性模有效结合在一套模具,有利于提高深凹陷型件的贴模精度,且控制精度高、通用性强。