本发明公开了一种光学用铝合金表面多维可控反应能束复合抛光方法,其特征在于包括有以下步骤：(1)小磨头数控研抛：采用铝合金小磨头数控研抛方法,制备获得光学级铝合金材料样品；(2)化学预抛光：采用碱性抛光液对样品进行化学预抛光,在样品的表面形成氧化层；(3)超声前处理：在超净室采用去离子水对样品进行超声波清洗；(4)离子束刻蚀：(5)表面质量检测：检测样品表面是否满足指标要求,若不满足,重新进行离子束刻蚀,直到得到满足指标要求的铝合金材料。与现有技术相比,本发明的方法能够在铝合金表面获得光学用超光滑表面。
