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技术分类
用于测量表面之间夹角的测角仪
光学投影比较仪
测量望远镜
测量显微镜
按时间平均的
实时的
双重曝光技术
用于得出轮廓
用全息照相技术的
剪切干涉仪；
自干涉仪；
断层干涉仪，例如基于光学相干性；
低相干干涉仪；
减少或防止倾斜或错位的影响；
减少被动误差；
减少或防止错误；测试；校准；
多通道干涉仪，例如双通道；
目标对象和光束之间的多重相互作用，例如来自不同位置的光束反射；
特征在于光束路径配置；
使用频率扫描；
使用拍频；
使用两个或两个以上的频率；
以控制或内部辐射为特征；
干涉仪
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
用于计量表面的粗糙度或不规则性
用于计量面积
用于检测轮子的准直
用于测量偏心度，即两个平行轴之间的横向偏移
用于检测轴线准直
用于检测垂直度
用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直
用于测量曲率半径
使用多个固定的、同步操作的变换器
用于计量轮廓或曲率
用于计量深度
利用磁性质的变化
用于计量固体的变形，例如电阻应变仪
有规则间隔的
用于计量相隔的物体或孔的间距或间隙
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