宽波段光电探测器测试装置,涉及光电技术。本发明包括光源、斩波器、源表、屏蔽黑箱、前置放大器和锁相放大器,其特征在于,还包括温度调节模块,所述温度调节模块的热量传输单元设置于屏蔽黑箱,屏蔽黑箱中设置有温度传感器。本发明可以实现不同温度、不同光照强度、不同偏压的测试。

本发明涉及一种终点检测装置、蚀刻设备及检测方法。所述终点检测装置包括：石英件、第一滤光片、第二滤光片以及光检测模块,本发明提供的终点检测装置通过设置分别用于加工产生的光和检测光源发出的光通过的第一滤光片和第二滤光片,以及用于检测通过所述第一滤光片和所述第二滤光片的光的强度的光检测模块,能够实现加工过程中的终点检测功能,同时能够通过检测通过第二滤光片的光的强度是否与检测光源发出的光的强度一致来实现自检。