本发明属于传感器技术领域,具体的说是一种电感式水压传感器,包括基座、基体、线圈和磁芯；所述基座中心位置开设有一号孔,且基座底部以一号孔为圆心开设有环形的一号槽,一号槽内均匀开设有一组弧形的T型槽；所述T型槽内均套设有滑块；通过设置凸块,基体通过弧形板不断进入安装孔内,管道表面与凸块摩擦使得凸块运动,凸块运动带动转轴运动,直至转轴接触管道,此时凸块位于管道两侧,将基体通过螺栓安装在基座顶部,一号块滑动进入二号孔内,直至一号块接触凸块,使得一号块对凸块产生限位作用,从而使得管道锁定在相邻凸块之间,增加基座安装后的稳定性,进而增加压力检测准确程度。

基于频率检测原理的MEMS压力传感器,采用平面螺旋电感,且在该电感的一侧设置MEMS可变平行板电容,构成LC谐振电路；MEMS电容并联到CPW信号线和地线之间,其上极板为CPW信号线,且该上极板直接置于MEMS薄膜上,该MEMS薄膜正下方的衬底上设置凹槽,MEMS电容的下极板位于凹槽的底面和靠近地线的两个侧面上,且与地线相连；MEMS薄膜两端置于地线上,与凹槽形成密闭腔体。利用密闭腔体感测外部压强,当密闭腔体内外压差发生变化时,MEMS薄膜发生挠曲,引起MEMS电容的上极板和下极板之间的电容发生变化,使得CPW传输线上RF信号的谐振频率产生偏移,通过测量谐振频率值便可表征检测压力的大小。