本发明公开了一种射频电源控制系统及其校准方法、装置和半导体设备。该校准方法包括：获取射频电源的待校准信号的采集值的第一初值校准值和第一满量程校准值,待校准信号包括前向功率信号、反射功率信号和控制信号中的至少其中之一；获取待校准信号的反馈输出值的第二初值校准值和第二满量程校准值；根据第一初值校准值、第一满量程校准值以及待校准信号的满量程值对待校准信号当前的采集值进行校准,以获取待校准信号的实际采集值；根据待校准信号的实际采集值、第二初值校准值、第二满量程校准值以及待校准信号的满量程值对待校准信号当前的反馈输出值进行校准,以获取待校准信号的实际反馈输出值。实现提高控制精度和控制一致性。

公开了一种电源接入情况检测方法及装置,用于对设备的电源接入情况进行检测,其中,设备使用的电源包括第一路电源和第二路电源,获取同一时间段内第一路电源的第一功耗序列数据和第二路电源的第二功耗序列数据；计算第一功耗序列数据和第二功耗序列数据之间的相似性；基于相似性,判断是否存在仅接入一路电源的设备。与人工检测方式相比,本公开通过自动数据分析的方式即可判断是否存在电源接入错误的问题设备,可以提高检测结果的准确性,解决人工检测存在的误检或漏检问题。