本发明公开了一种环保型隧道排水管结晶处理物制备方法,包括以下原料及其重量分数：烧碱为30-50％质量份；生石灰为20—30％质量份；碳酸钠为10—15％质量份；焙烧硅藻土为10—15％质量份；铁粉为5—10％质量份；铝粉为5—10％质量份；焦炭粉为4—8％质量份；活性炭为3—6％质量份。本发明制备的结晶处理物对管道内部结晶清除时的速度比较快,降低了管道内部结晶清除时的难度,还能避免结晶处理物在反应过程中产生的异味直接扩散到空气中,提高了结晶处理物使用过程中对环境的保护效果。

本发明提供一种化学清洗液及其使用方法,其中所述化学清洗液含有氧化剂、吡唑及其衍生物、氧化剂稳定剂、二甘醇胺、氟化物以及水。本发明的清洗液清洗能力强,可一步有效去除铜大马士革工艺中等离子体刻蚀残留物和硬膜氮化钛,并且对金属Cu和非金属介质(如SiON、TEOS、低介质常数材料BDII等)均有较小的腐蚀速率。

本发明公开了一种移除硬遮罩的钴兼容性半水基清洗液、其制备方法及应用。所述的半水基清洗液由下述原料制得,所述的原料包括以下质量分数的组分：10％-45％的氧化剂、0-1.5％的D-氨基酸氧化酶、0-2.5％的D型氨基酸、0.1％-15％的有机碱、0.001％-15％的螯合剂、0.005％-15％的缓蚀剂、0.05％-15％的羧酸铵、0.005％-1.5％的EO-PO聚合物L42、0.005％-2.5％的钝化剂、20％-60％的水溶性有机溶剂和余量的水,所述的质量分数为各组分质量占各组分总质量的百分比。本发明半水基清洗液对多种金属及电介质缓蚀性强,尤其是对钴的兼容性强,清洗效果佳。