本发明公开了一种基于无机分子晶体的忆阻器件、制备方法及其应用。所述忆阻器件包括：自下而上依次排列的衬底、底电极层、介质层、活性金属层和顶电极层,其中所述介质层包括无机分子晶体薄膜、活性金属掺杂的无机分子晶体薄膜和二维无机分子晶体单晶中的一种。本发明中首次将无机分子晶体材料应用到忆阻器件中,填补了无机分子晶体在忆阻器研究中的空缺。本发明的忆阻器以无机分子晶体作为介质层,并通过活性金属扩散形成导电细丝,符合电化学金属化阻变机制。本发明的忆阻器具有置位电压低、功耗低、开关比大等优点。

本发明涉及铜箔制备领域,具体涉及一种带树脂层的极低粗糙度的极薄铜箔及其制造方法。所述极薄铜箔包括树脂层、基础铜层和极薄铜层,其中基础铜层在树脂层和极薄铜层之间,基础铜层通过蒸镀或溅镀的方式附着在树脂层上,极薄铜层通过电镀的方式附着在基础铜层上。本发明使用溅镀或蒸镀的手段在树脂表面先形成一层基础铜层,然后进一步在基础铜层上电镀极薄铜层,得到的铜层和树脂之间相容性好,附着力强。

低摩擦磨损膜(10)包括：铬层(11),形成于金属基材(1)表面；碳化钨倾斜层(14),形成在所述铬层(11)的表面上；以及作为顶层的类金刚石碳层(15),形成在所述碳化钨倾斜层(14)的表面上。所述碳化钨倾斜层(14)包含铬－碳化钨倾斜层(12)和碳化钨均匀层(13)。上述铬－碳化钨倾斜层(14)在上述铬－碳化钨倾斜层(12)与上述碳化钨均匀层(13)的边界不形成存在钨单质的钨浓缩层。

本申请公开了一种包括控制系统的反应溅射设备及反应溅射方法,通过采集溅射电压或功率的方式来建立闭环控制反馈机制,通过控制器改变溅射功率来准确地来调控反应氧化的阶段及靶材的氧化程度,使氧化钒的反应稳定地处于过渡模式。本申请采用调整功率控制电流稳定的方案,成膜的均匀性好,有助于规模化生产,反应对调控功率的响应速度快,无调控反应气流技术方案中滞后效应。

本发明公开了一种铌合金溅射靶材及其制备方法,铌合金溅射靶材中含铌元素40～80份、钛元素20～60份；铌合金溅射靶材的制备方法为：将铌粉、钛粉、活性碳粉在保护气体作用下充分混合均匀得到混合粉末；然后将混合粉末装入胶套内,进行冷等静压成型,得到坯体；之后将坯体装入包套并进行真空除气,对除气后的包套进行热等静压处理,得到烧结坯；将烧结坯在保护气氛下加热,然后热轧、校平、退火,得到铌合金板坯；最后对铌合金板坯进行磨削加工,即得到铌合金溅射靶材。采用该方法生产的铌合金溅射靶材,纯度高,晶粒细小,可以用于制作在TFT-LCD制程中与铜膜层配套使用的过渡层材料,在耐蚀性、热稳定性等方面与铜膜层具有良好的匹配性,改善TFT-LCD制程中的不良。

本发明提供了一种铝包套脱气管的闭气方法,所述的闭气方法包括：采用液压装置压扁脱气管的部分管段后,将压扁管段进行切割并密封管段切断处的一端。在本发明中,将铝包套脱气管的闭气方式由用榔头把铝管敲扁改为用液压钳压扁铝管,防止因敲击振动导致脱气管连接的球形阀漏气,进而导致包套进气产生鼓包的现象,提高了生产效率并减轻了劳动强度,具有较高的安全性、稳定性及可靠性。

本发明公开一种钨钛合金靶材及其制备方法,涉及靶材制备领域。本发明所述一种钨钛合金靶材的制备方法,包括如下步骤：(1)将钨粉和钛粉混合均匀,得到混合合金粉末；(2)用石墨纸将模具内部铺满后,将石墨纸、垫片、混合合金粉末装入模具中；其中,所述石墨纸、垫片、混合合金粉末的装入顺序从下往上依次为：石墨纸、垫片、合金粉；石墨纸、垫片、合金粉作为一个整体模块,所述模块在模具中至少2个；最后依次加入石墨纸、垫片后封装模具；(3)模具进行脱气后,置于热等静压炉中烧结,反应一段时间后冷却至25-30℃,取出模具,得到钨钛合金靶坯；(4)将步骤(3)中的钨钛合金靶坯进行机加工处理后,得到所述钨钛合金靶材。

提供一种在整个靶寿命中膜厚均匀性优良的铌溅射靶。一种铌溅射靶,在板状的靶的溅射面的中心与外周的中间的位置,将相对于所述溅射面垂直的所述靶的断面,沿所述溅射面的法线方向从所述溅射面侧开始三等分成上部、中央部以及下部,并且使用EBSD法测量该上部、中央部以及下部的晶体取向分布,并对所述上部、中央部以及下部的各个测量区域根据式(1)求出{111}面积率的情况下,所述上部、中央部以及下部的{111}面积率的如式(2)所示的变化率为2.5以下：{111}面积率＝测量区域中的{111}面沿所述法线方向取向的晶粒的面积的合计/测量区域整体的面积…式(1)；变化率＝[最大值－最小值]/最小值…式(2)。

本申请涉及利用氢化硅和银的感应透射滤波器。感应透射滤波器可以包括光学滤波器层的集合。该光学滤波器层的集合可以包括光学滤波器层的第一子集,该光学滤波器层的第一子集包括具有第一折射率的第一材料,该第一材料至少包括硅和氢。该光学滤波器层的集合可以包括光学滤波器层的第二子集,该光学滤波器层的第二子集包括具有第二折射率的第二材料。第二材料可以不同于第一材料,并且第二折射率可以小于第一折射率。第二材料可以至少包括银。

本发明公开了一种环保型氧化铌靶材的加工工艺,包括制备氧化铌和金属铌的金属混合液,制备雾化颗粒,经过干燥、筛料和混匀后,利用3D打印机制备氧化铌靶材坯料,最后经过精加工处理,得到氧化铌靶材成品,涉及靶材加工技术领域；通过将氧化铌粉末和金属铌粉末熔化后形成金属混合液,采用气雾法对金属混合液进行造粒,相较于采用传统的磨粉机进行磨粉后混合造粒,一方面能够有效提高原料颗粒的密度,同时提高原料颗粒的均匀度,另一方面造粒工艺效率高,且成本消耗较低,无需对原料粉体进行纳米化,解决了原料粉体逸散浪费的问题,最后采用3D打印机进行氧化铌靶材坯料的制备,能够大幅提高氧化铌靶材的致密性,保证氧化铌靶材成品质量。