本发明提供关于一种压力感测金属膜片,包括：一主体部,该主体部呈平坦状延伸,该主体部贯设有一穿孔与一穿透结构,该穿孔供一移动轴组穿设连接,该穿透结构使得该主体部受力形变时可拉伸成网状结构。以解决现有的装置使用的膜片皆为波浪型,波浪状膜片会降低对于微小压力变化的灵敏度,导致现有膜片式压力表无法精准地量测出实际压力值的问题。

一种电容式变换器或麦克风,其包含一或多个分层的一第一基板及所述第一基板包含一第一表面、在所述第一表面中的一第一空腔及一凸台-隔膜(mesa diaphragm),所述凸台-隔膜横跨所述第一空腔。所述电容式变换器或麦克风包含一第二基板,所述第二基板被固定到所述第一基板。所述第二基板具有一或多个分层,所述分层包含一第二空腔,所述第二空腔具有一非平面的(例如,波状的或结构化的或阶状的)底表面,所述底表面面对所述凸台-隔膜。所述空腔的所述底表面的一形状或浮雕可以是至少一定程度有利地与所述隔膜的一变形形状互补。所述第二基板可能包含一或多个声学孔,不均匀地分布在所述第二基板上。一或多个通风口可以使所述第二空腔通风。

本发明提供一种在配置于加热器部件的内侧使用时,在压力传感器内部难以产生温度分布的压力传感器用的框体。压力传感器用框体100由沿着规定的轴心CL1延伸的中空的筒状构件(框体(100))形成,在筒状构件(100)的内侧收容有检测流体的压力的压力传感器元件,筒状构件的侧面(100SW)形成为,在圆筒状的空间(500V)的内侧配置有筒状构件(100)时,在空间(500V)的轴心(CL500)与规定的轴心(CL1)一致的第一姿势下,全周被空气层(A)覆盖,在规定的轴心(CL1)相对于空间(500V)的轴心(CL500)偏心的姿势中的至少一个姿势即第二姿势下,在多个部位(接触位置(P1、P2))同时与划分空间(500V)的壁面(500W)接触。