本发明涉及传感器技术领域,具体是一种呼吸机用压力传感器,包括陶瓷基板,所述陶瓷基板的两侧分别设置有第一壳体与第二壳体；陶瓷基板上开设有通孔,所述通孔的表面设置有压力芯片,所述陶瓷基板的任意一组对称边设置有用于焊接端子的端子焊盘；陶瓷基板上还设置有调理芯片、焊盘与电容,所述焊盘分别与所述调理芯片和/或所述压力芯片连接；所述电容分别与所述焊盘和/或所述端子焊盘连接；所述第一壳体和/或所述第二壳体上设置有气嘴。本装置不仅结构简单,体积小,而且性能稳定,可有效延长使用寿命。

本发明公开了一种具有压差传感器保护结构的检测模块,包括膜片式压力传感器和引压座,该膜片式压力传感器设有两个传压腔体,两个传压腔体分别连接有引压管,对应两个引压管在引压座上设有两个具有内腔的液压传递功能部连接,两个液压传递功能部的内腔分别相应的引压管和传压腔体连通以形成两个封闭的盛液腔体,盛液腔体内充满液体传压介质,膜片式压力传感器外罩设有封闭的稳压盒,稳压盒与膜片式压力传感器之间的空间形成稳压腔,两个引压管分别向外穿出稳压盒后与液压传递功能部连接,两个引压管均与稳压盒的壁密封。稳压腔用于与外部压力源连接,或与其中一个盛液腔体连通并盛满所述液体传压介质。本发明通过简单结构提高了测量模块可靠性。

根据本发明的测量装置(1)包括：传感器元件(100),该传感器元件具有电气换能器(130)和传感器主体,该电气换能器用于提供取决于测量变量的初级信号,并且该传感器主体具有平坦表面部分；以及测量和操作电路(200),用于驱动换能器并且用于处理初级信号,该测量和操作电路(200)包括至少一个载体和多个电路部件,该多个电路部件包括至少一个集成电路和无源部件,该载体包括电绝缘载体主体(221、241、261)和导电通路,这些导电通路在载体主体中或在其表面上延伸,该集成电路(224、244、246)和无源部件(226、266)被布置在载体主体表面上并且由导电通路接触；其中,该至少一个载体主体(221)被固定到表面部分,以及该换能器经由导电通路电气地连接到该测量和操作电路的电路部件(224、226),这些部件(224、246、244、246、264、266)利用模塑料(222、242、262)而被封装。

本发明提出了一种具有引压管堵塞自诊断功能的电容式差压变送器,其特征在于功能层面上包括：基础测量模块与边缘智能模块；所述基础测量模块负责将压力信号转化为电信号,对电信号进行放大、数模转换,并封装为串口报文；所述边缘智能模块负责与上位机之间通过工业总线进行通信,并进行对于引压管堵塞故障的诊断,通过单独的边缘智能模块对于引压管堵塞故障进行诊断。本发明能够在边缘侧实时对于仪表引压管故障状态进行监测,并将故障信息及时显示与上报,反应迅速及时；能够只利用压力信号对于仪表引压管故障状态进行监测,无需加装其他传感器,能够实现非侵入式故障监测；能够在不影响基本功能的前提下完成故障诊断工作。

基于频率检测原理的MEMS压力传感器,采用平面螺旋电感,且在该电感的一侧设置MEMS可变平行板电容,构成LC谐振电路；MEMS电容并联到CPW信号线和地线之间,其上极板为CPW信号线,且该上极板直接置于MEMS薄膜上,该MEMS薄膜正下方的衬底上设置凹槽,MEMS电容的下极板位于凹槽的底面和靠近地线的两个侧面上,且与地线相连；MEMS薄膜两端置于地线上,与凹槽形成密闭腔体。利用密闭腔体感测外部压强,当密闭腔体内外压差发生变化时,MEMS薄膜发生挠曲,引起MEMS电容的上极板和下极板之间的电容发生变化,使得CPW传输线上RF信号的谐振频率产生偏移,通过测量谐振频率值便可表征检测压力的大小。

本发明涉及一种传感器结构。一种集成式压力传感器模块,包括陶瓷敏感元件,所述的陶瓷敏感元件是由陶瓷基座、陶瓷膜片和玻璃密封层构成,在陶瓷基座和陶瓷膜片上印刷有金属电极,在陶瓷基座的上方设有硬质PCBA板,在金属电极上设有接触点,导电件的一端与接触点相接,导电件的另一端穿过陶瓷基座与硬质PCBA板连接。本发明提供了一种能自动化组装,工艺简单,成本低,电路设计灵活性好,方便安装,传感器精度高的一种集成式压力传感器模块；解决了现有技术中存在的柔性PCBA成本高,尺寸大,容易共振；印刷PCB电接触不稳定,工艺复杂,灵活性差；不方便安装,传感器精度不高的技术问题。

本发明公开了一种硼烯-石墨烯复合气凝胶制备方法及其压力传感器的应用,属于传感器技术领域。制备步骤包括：1)硼烯的制作；2)硼烯-石墨烯复合水凝胶的制备；3)硼烯-石墨烯复合水凝胶的透析；4)硼烯-石墨烯复合水凝胶的冷冻干燥；5)硼烯-石墨烯复合气凝胶的制备；5)压力传感器的封装。这种硼烯-石墨烯复合气凝胶具有多孔结构以及优异的机械性能,可作为弹性介电层,应用于高灵敏度电容压力传感器的研发。该电容压力传感器在0～3kPa范围内具有0.89kPa～(-1)的灵敏度,最小检测力为8.7Pa,以及110ms的响应时间。本发明的硼烯-石墨烯复合气凝胶整体制作工艺简单、功能多样,在压力传感器领域具有良好的应用前景。

本发明提出MEMS湿压集成传感器及制备方法,包括：位于衬底上的CPW信号线及位于CPW信号线两侧的CPW地线,且CPW信号线包括主线、第一副线和第二副线；凹槽,设置在主线下方的衬底上,包括第一凹槽和第二凹槽；MEMS梁,分别位于第一凹槽的底面和靠近第一副线的两个侧面上、第二凹槽的底面和靠近第二副线的两个侧面上；MEMS薄膜,与第一凹槽形成密闭腔体；第二MEMS薄膜位于第二凹槽正上方,且主线两侧的部分设置通孔；感湿层,位于第二MEMS梁和第二MEMS薄膜之间；终端匹配电阻,位于第一副线和第二副线远离主线的一端；热电堆,位于终端匹配电阻远离主线的一端。利用本发明的结构可分别获取环境压强和环境湿度。

本发明公开了一种方形陶瓷电容式压力传感器,包括：三孔方形陶瓷基座、玻璃密封层、方形陶瓷弹性膜片、信号调理芯片和电阻电容；三孔方形陶瓷基座顶端表面印刷有金属电路及焊盘,信号调理芯片和电阻电容贴在金属电路及焊盘顶端；三孔方形陶瓷基座底端表面印刷有三孔方形陶瓷基座金属电极,三孔方形陶瓷基座下方设置有方形陶瓷弹性膜片,三孔方形陶瓷基座与方形陶瓷弹性膜片间通过玻璃密封层密封连接。本发明将陶瓷压力感压元件与信号调理芯片融合在一起,实现了单个陶瓷组件就能将压力信号转换成电压信号,结构简化,抗干扰能力更优,方形结构减少了生产过程中的材料浪费。