本发明涉及一种基于薄膜自卷曲技术的圆波导,属于纳米器件技术领域。以硅片作为衬底,在衬底上沉积钛金属层、铜金属层和金金属层,通过刻蚀锗牺牲层,利用不同金属层间的内在应力作用,触发钛、铜、金金属层自卷曲,从而实现二维到三维的过渡,形成自卷曲的微纳米管。微纳米管的内径为微米级,圆波导工作频率为太赫兹波段。本发明所制成的片上圆波导结构小型化,纳米薄膜的微纳米管结构提供了优越的结构性能,具有较高的导电性能和电荷的传输效率；本发明的制作方法易于操作,成本更低,可批量生产。

本发明是一种微波加热装置的导波管及微波加热装置,其中,微波加热装置包括一导波管、两个微波发射模块及一输送模块；导波管形成一行波路径,且导波管具有至少一输送开口对及至少一导波板对；输送开口对具有两个输送开口,其分别形成于导波管沿一输送方向的相对两个侧壁；导波板对位于导波管内,并具有沿行波路径延伸的两个导波板,两个导波板分别设于导波管的顶壁及底壁；两个微波发射模块分别设于导波管的相对两端；输送模块沿输送方向贯穿输送开口对；通过设置两个微波发射模块及导波板对,本发明可进一步改善高微波吸收材料在导波管中受热的均匀程度,并且能够对高单价的待加热物进行加热处理。